Busch Vacuum Solutions

Overview Vacuum Pumps, Blowers and Compressors

제품소개

진공펌프. 블로어 컴프레서

PLUS

The Intelligent Solution for Your Vacuum Process

The PLUS in the name makes the difference.

PLUS technology combines proven Busch experience with cutting-edge features for Industry 4.0: Everything you need in one unit.

More than just vacuum pumps: With the PLUS technology you get your PLUS of possibilities.

R5 - Oil-Lubricated Rotary Vane Vacuum Pumps

R 5

유회전 베인 진공펌프

R 5 진공 펌프는 펌프의 튼튼함과 신뢰성을 바탕으로 오래전부터 업계 표준으로 인정받고 있습니다. 전 세계에서 매일 300만 대가 넘는 R 5 진공펌프가 가장 혹독한 산업 환경하에서 신뢰성있는 서비스를 제공하고 있습니다. R 5 시리즈 진공 펌프는 대용량, 모듈식의 검증된 유회전 베인 진공 기술로 감동을 제공합니다.

R 5 시리즈 버전: RA/RB(일반 산업용 표준품), PA/PB(오일 분리장치 내장형), KB(소형 디자인) 및 RE(방폭형 디자인).

최대 진공도:
0.05 - 20 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz:
3 - 1600 m³/h
정격 유량 60 Hz:
4.8 - 1800 m³/h

Mink - Dry Claw Vacuum Pumps and Compressors

Mink

건식 클로 진공 펌프 및 압축기

Mink 클로 진공 펌프는 꾸준한 진공, 고속 펌핑 및 완전한 무급유 압축이 필수적인 산업 전용으로 개발되었습니다. Mink 클로 진공 펌프는 무접촉 방식으로 작동되므로 압축 중 오일 또는 작동 액체가 전혀 필요하지 않습니다.

클로 진공 펌프, 클로 압축기 및 진공 시스템이 Mink 시리즈 유형의 버전에 포함됩니다.

최대 진공도:
20 - 200 hPa (mbar)
가압:
2 bar(g)
정격 유량 50 Hz:
40 - 950 m³/h
정격 유량 60 Hz:
40 - 1150 m³/h

COBRA Industry - Dry Screw Vacuum Pumps

COBRA Industry

일반산업용 건식 스크류 진공 펌프

COBRA Industry (일반 산업용 코브라 진공펌프) 건식 스크류 진공 펌프는 효율성이 우수하며, 가스와 증기를 오염물질 없이 안정적으로 추출해야 하는 일반산업용으로 최적입니다.

일반 베어링 시스템이 장착된 COBRA NC 시리즈 진공 펌프는 공정 기술용으로 이상적인 펌프입니다.

최대 진공도:
0.01 - 1 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz:
110 - 2000 m³/h
정격 유량 60 Hz:
130 - 2500 m³/h

COBRA Semicon - Dry Screw Vacuum Pumps

COBRA Semicon

반도체용 건식 스크류 진공 펌프

COBRA Semicon 건식 스크류 진공 펌프는 반도체, 태양전지 모듈 및 평면 스크린(LCD) 생산, 기타 수많은 산업 코팅 응용 분야 등 아주 까다로운 공정에 사용될 때 아주 효율적입니다. 고효율 모터가 장착된 COBRA Semicon 스크류 진공 펌프는 에너지 절약 효과가 우수합니다.

COBRA Semicon 시리즈 버전: DS (산업표준품 , 기밀규격(leak tight), 기존 베어링 시스템), BA (기밀규격, 플라잉 베어링 시스템, 공냉식) 및 BC(기밀규격, 플라잉 베어링 시스템, 수냉식). 모든 펌프가 반도체 산업 복잡한 공정에맞게 특별히 설계되었습니다.

최대 진공도:
0.001 - 0.03 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz:
70 - 7.400 m³/h
정격 유량 60 Hz:
85 - 7.400 m³/h

Torri Multi-Stage Rotary Lobe Vacuum Pumps

Torri

Multi-Stage Rotary Lobe Vacuum Pumps

Torri multi-stage rotary lobe vacuum pumps are the compact and energy-efficient solution for pump-down of load lock chambers.

They are characterized by low ultimate pressure and best-in class chamber pump-down time.

Nominal pumping speed 50-60 Hz:
100 m³/h

Panda/Puma -Vacuum Booster

Panda/Puma

부스터 진공펌프

Panda 및 Puma Roots 진공 펌프는 러프 배큠 및 중진공 공정에 모두 사용할 수 있는 건식 진공 부스터입니다. 이 유형의 진공 시스템에서는 이러한 진공시스템에는 부스터가 기본 백킹펌프의 출력을 크게 높여줍니다.

Puma/Panda 시리즈 버전: WP/WPA(산업용, 표준규격), WV(산업용, 바이패스 밸브장착), WY(Semicon, 기밀규격) 및 WZ(Semicon, 바이패스 밸브장착, 기밀규격).

차압:
Δp max. 100 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz:
250 - 9535 m³/h
정격 유량 60 Hz:
300 – 11.675 m3/h

Seco - Dry Running Rotary Vane Vacuum Pumps and Compressors

Seco

건식 베인 진공 펌프 및 압축기

소형, 고신뢰성, 강력한 힘이 건식 Seco 베인 진공 펌프의 대표적인 특징입니다. 무급유 방식이어서 빠르고 안정적인 진공 서비스가 필요한 산업용으로 알맞습니다. 콤프레서 버전인 Seco SD도 있습니다.

Seco 시리즈 버전: SV(진공 펌프) 및 SD(콤프레서).

최대 진공도:
100 – 150 hPa (mbar)
가압:
0.6 – 1.5 bar(g)
정격 유량 50 Hz:
3 - 124 m³/h
정격 유량 60 Hz:
3.6 - 146 m³/h

Tyr - Rotary Lobe Blowers

Tyr

로브 블로어

티어(Tyr) 블로어는 강력한 디자인으로 정밀하게 제조되어 아주 믿을 수 있으며 안정적으로 작동합니다. 중간 및 고속 펌핑속도에서도 진공 및 압력 모두에서 차압이 일정하게 유지됩니다.

차압:
Δp max.
진공 타입:
-500 hPa (mbar)
가압 타입:
+1,000 hPa (mbar)
체적 유량:
150 - 4380 m³/h

Huckepack - Oil-Lubricated Rotary Vane Vacuum Pumps

Huckepack

2단식 유회전 베인 진공 펌프

후케팩(Huckepack) 오일 2단식 진공 펌프는 가장 어려운 응용 분야에서 진가를 발휘하며 수십 년에 걸쳐 강력함과 가동신뢰성을 입증받고 있습니다. 4개 사이즈 모두 2단으로 디자인되었습니다. 새 오일로 윤활하므로 부식성 공정 가스 또는 증기가 아무런 문제 없이 펌핑됩니다.

최대 진공도:
0.5 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz:
160 - 630 m³/h
정격 유량 60 Hz:
190 - 760 m³/h

Dolphin - Liquid Ring Vacuum Pumps

Dolphin

액봉식 진공 펌프

돌핀(Dolphin) 펌프는 Busch의 강력하고 검증된 수봉식 진공 펌프입니다. 모터를 플랜지로 조립하거나 베이스프래임위에 조립할 수 있으며, 1단 펌프와 2단 펌프가 있습니다. 모든 산업 부문에서 사용할 수 있도록 검증된 펌프입니다. 포화 가스 또는 증기의 배출과 같은 중요 분야도 Dolphin 수봉식 진공 펌프로 쉽게 관리할 수 있습니다.

돌핀(Dolphin) 시리즈 버전: LA(1단), LB(2단) 및 LX(소형).

최대 진공도:
33 - 160 hPa (mbar)
가압:
2 bar(g)
정격 유량 50 Hz:
25 - 26.800 m³/h
정격 유량 60 Hz:
31 - 26.800 m³/h

Samos - Side Channel Blowers

Samos

사이드 채널 블로어

사모스(Samos) 사이드 채널 블로어는 맥동이 없는 진공 및 압력 사용이 필요한 모든 영역에서 사용할 수 있습니다. 블로워를 수직 또는 수평으로 설치할 수 있습니다. 다이캐스트 알루미늄 구조로 만들어진 매우 튼튼한 제품입니다.

차압:
Δp max.
진공 타입:
-490 hPa (mbar)
가압 타입:
+670 hPa (mbar)
체적 유량:
40 - 2640 m³/h

Zebra - Two-Stage Oil-Lubricated Rotary Vane Vacuum Pumps

Zebra

2단 오일 베인 진공 펌프

지브라(Zebra)는 중진공용 2단 로타리베인 진공 펌프 시리즈입니다. Busch에서는 더 높은 진공 수준을 위한 검증된 기술인 미세(fine) 진공 부문용 Zebra 시리즈 2단 베인 진공 펌프도 제공합니다.

최대 진공도:
6.7 · 10^-3 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz:
2,4 – 80 m³/h
정격 유량 60 Hz:
2,9 – 95 m³/h

Fossa - Scroll Vacuum Pumps

Fossa

스크롤 진공 펌프

완전밀폐상태에서 건식으로 압축하는 포사(Fossa) 스크롤 진공 펌프는 펌핑가스누출 또는 외기 접촉 없이 펌핑하는 데 최적의 진공펌프입니다.

최대 진공도:
0.01 - 0.025 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz:
15 - 35 m³/h
정격 유량 60 Hz:
18 - 42 m³/h

Turbo - Turbomolecular Vacuum Pumps

Turbo

터보분자 진공 펌프

Turbo는 Busch의 터보분자 진공 펌프 제품 라인입니다. Turbo 진공 펌프는 고도의 진공이 필요한 산업용으로 개발되었습니다.

최대 진공도:
< 1 · 10^-10- 1 · 10^-8hPa (mbar)
정격 유량 N₂:
1080 - 2200 l/s

Rangu - Diffusion Vacuum Pumps

Rangu

확산 진공 펌프

랑구(Rangu)는 고도의 진공이 필요한 응용 분야용 확산 진공 펌프 시리즈입니다. 3가지 사이즈로 나와 있는 Rangu는 높은 펌핑 속도 또는 가스 처리량이 필요한 응용 분야에서 최대 10^-8hPa(mbar)의 높은 진공 수준으로 사용하기에 아주 알맞습니다.

최대 진공도:
< 7 · 10^-8hPa (mbar)
정격 유량:
10000 - 28000 l/s

진공 시스템

Busch는 항상 고객에게 최상의 진공 솔루션을 제공합니다

거의 모든 진공 시스템은 고유하며 항상 고객의 요구 사항에 맞춰 특별하게 제작됩니다.

액세서리 및 부품

최적의 성능과 신뢰도

액세서리 및 부품은 품질이 특히 중요합니다. Busch 정품 액세서리 및 부품 사용 시, 진공 펌프, 블로어 및 컴프레서의 최적 성능, 운영 안전 및 보증기간이 보장됩니다.