Prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

Zdá se, že používáte starou verzi prohlížeče Microsoft Edge. Pro co nejlepší zobrazení webové stránky Busch prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

Výroba polovodičů pomocí vakua

semicon_stage_foto

Vývěvy Busch jsou provozovány v předních továrnách na výrobu polovodičů a jsou známé svou spolehlivostí. Jsou výsledkem mnoha let naslouchání potřebám a procesním požadavkům našich partnerů vyrábějících polovodiče.

Dovolte nám, abychom vám pomohli najít dokonalé řešení pro vaše procesní požadavky.

Najděte své řešení servisu v oblasti polovodičů se skupinou Busch Group

Skupina Busch Group, světový lídr v oblasti vakuových technologií, spojuje dvě renomované značky: Busch Vacuum Solutions a Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Společně nabízejí tyto značky komplexní portfolio vakuových řešení a služeb přizpůsobených pro polovodičový průmysl.

Společnost Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions přináší specializované odborné znalosti v oblasti vysokého a ultra vysokého vakua a detekce úniku, zejména pro polovodičová použití. Díky své dlouholeté pozici v odvětví polovodičů bude společnost Pfeiffer poskytovat ty nejlepší možné služby. Ať už se jedná o repasování vývěv nebo kompletní řízení dílčích systémů, společnost Pfeiffer zajistí, že vaše procesy výroby polovodičů budou v dobrých rukách.

Služby v oblasti polovodičů

  • con23_293_newimagelandingpagesemiconsemciconlocation

    Servisní lokality pro polovodiče

    Najděte svou servisní lokalitu pro polovodiče.

    Více informací

Naše Řešení V Oblasti výroby Polovodičů

Vakuová řešení Busch jsou spolehlivou volbou pro všechny polovodičové aplikace, kde jsou vysoká spolehlivost, nízké náklady na vlastnictví a inteligentní komunikace polovodičových nástrojů absolutní nutností. Od plavebních komor až po nejnáročnější procesy vytvářející částice. Dodáváme vakuové systémy do výrobních závodů na polovodiče předních výrobců po celém světě. Včetně následné podpory na místě ze stejného zdroje.
VacTest
Lehké (plavební a přetlačovací komory, metrologie, litografie)
Střední (PVD procesy, základní čištění PVD, RTA, stahování/zpopelňování, leptání oxidů, leptání silikonu)
Těžké (leptání kovů, implantáty, HDP, CVD, RTP, epitaxe, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)