Výroba polovodičů pomocí vakua

Vývěvy Busch jsou provozovány v předních továrnách na výrobu polovodičů a jsou známé svou spolehlivostí. Jsou výsledkem mnoha let naslouchání potřebám a procesním požadavkům našich partnerů vyrábějících polovodiče.

Dovolte nám, abychom vám pomohli najít dokonalé řešení pro vaše procesní požadavky.

Služby v oblasti polovodičů

ARPQP
Generální opravy vývěv od Busch. Zejména pro polovodičový trh a trh s plochými panely.
Více informací
Kompletní správa továrních úseků
Komplexní servisní řešení pro bezpečné a stabilní výrobní prostředí ve vaší továrně na polovodiče.
Více informací
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

NAŠE ŘEŠENÍ V OBLASTI VÝROBY POLOVODIČŮ

Vakuová řešení Busch jsou spolehlivou volbou pro všechny polovodičové aplikace, kde jsou vysoká spolehlivost, nízké náklady na vlastnictví a inteligentní komunikace polovodičových nástrojů absolutní nutností. Od plavebních komor až po nejnáročnější procesy vytvářející částice. Dodáváme vakuové systémy do výrobních závodů na polovodiče předních výrobců po celém světě. Včetně následné podpory na místě ze stejného zdroje.

	COBRA	TORRI	VacTest	TAPIR
Lehké (plavební a přetlačovací komory, metrologie, litografie)	✓	✓	✓	✓
Střední (PVD procesy, základní čištění PVD, RTA, stahování/zpopelňování, leptání oxidů, leptání silikonu)	✓		✓	✓
Těžké (leptání kovů, implantáty, HDP, CVD, RTP, epitaxe, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓