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COBRA DS 0700 - 2000 G

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Effizient:
    niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
  • Flexibel:
    anwendungsorientiert
  • Kurze Prozesszeiten:
    durch hohes Saugvermögen
  • Robust:
    Korrosionsschutzbeschichtung der inneren Bauteile
  • Kompakte Konstruktion


COBRA DS 0700 – 2000 G sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA DS. Mit ihren großen Saugvermögen, sogar bei hohem Wasserstoffdurchsatz, eignen sie sich für alle anspruchsvollen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie der COBRA DS ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.

Die trockene Verdichtung der COBRA DS, ihr eigens entwickeltes Schraubenprofil und der ungehinderte Gasauslass sorgen für eine hohe Dampf- und Partikelverträglichkeit. Die Schrauben sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Somit wird das Eindringen von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln verhindert und Korrosion vorgebeugt.

Standardmäßig haben die COBRA DS 0700 – 2000 G einen Vakuum-Booster integriert, der höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Vakuum-Booster sind zusammen auf einem kompakten Grundrahmen montiert. Höchste Wirtschaftlichkeit bieten die hocheffizienten Motoren der COBRA DS 0700 – 2000 G. Durch geringen Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten, hohe Verfügbarkeit und lange Lebensdauer sind die Gesamtkosten äußerst niedrig. Damit setzt die COBRA DS neue Maßstäbe in ihrer Leistungsklasse.

Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit diesen Schrauben-Vakuumpumpen ist dank ihres flexiblen, passgenauen „Fit-in-Place“- Designs einfach und schnell durchzuführen.

Anwendungen

  • High-density plasma CVD (HDP-CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)

COBRA – die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse.

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Technische Ausführung
COBRA DS 0700 – 2000 G sind Schrauben-Vakuumpumpen kombiniert mit einem Vakuum-Booster. Im Zylinder der Schrauben- Vakuumpumpe drehen sich zwei Schraubenrotoren in entgegengesetzte Richtungen. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig, noch den Zylinder. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig. COBRA DS Vakuumpumpen arbeiten mit einer effizienten indirekten Wasserkühlung, die für eine regelbare Wärmeverteilung im gesamten Pumpenkörper sorgt, um stets exakt auf Prozessveränderungen reagieren zu können. Das hochmoderne Schraubenprofil ermöglicht zudem ein äußerst hohes Saugvermögen beim Absaugen von Wasserstoff. Die COBRA DS 0700 – 2000 G nutzen leistungsstarke Vakuum-Booster zur Leistungsoptimierung.


COBRA DS 0700-2000 G
COBRA DS 0700-2000 G
Saugvermögen

Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Saugvermögen <p> Luft von 20 °C. Toleranz: ± 10%</p>
Technische Daten COBRA DS 0700 G COBRA DS 1000 G COBRA DS 2000 G
Nennsaugvermögen m³/h 50 Hz 500 775 1365
Enddruck hPa (mbar) 50 Hz 0,003 (3·10-3) 0,003 (3·10-3) 0,003 (3·10-3)
Motornennleistung Vorpumpe kW 50 Hz 4,0 4,0 5,5
Motornennleistung Vakuum-Booster kW 50 Hz 4,0 4,0 5,5
Leistungsaufnahme bei Enddruck / Energiesparmodus kW 50 Hz 3,0 3,3 5,6
Motornenndrehzahl Vorpumpe min-1 50 Hz 3000 3000 3000
Motornenndrehzahl Vakuum-Booster min-1 50 Hz 3000 3000 3000
Schalldruckpegel (ISO 2151) dB(A) 50 Hz <62 <62 <68
Wasserverbrauch l / min 50 Hz 5,0 5,0 5,0
Stickstoffverbrauch l / min 50 Hz 0-75 0-75 0-75
Gewicht ca. kg 50 Hz 445 576 668
Abmessungen (L x W x H) mm 50 Hz 865 x 385 x 917 1034 x 425 x 1017 1063 x 465 x 1069
Gaseintritt / -austritt 50 Hz DN 63 / DN 40 DN 100 / DN 40 DN 160 / DN 40

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