Ein besonderer Fokus lag auf den Vakuumlösungen von Busch, darunter die trockenen Schrauben-Vakuumpumpen COBRA Semicon, die ideal für Prozesse in der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion geeignet sind. Ebenfalls präsentiert wurde die TORRI, eine kompakte und energieeffiziente Vakuumlösung für die Evakuierung von Load-Lock-Kammern.
Busch betonte seine Rolle als verlässlicher Partner im Sub-Fab-Management mit Angeboten wie Vakuumpumpen, Abluftreinigungsanlagen und entsprechendem Equipment.
Busch bietet einen 24-Stunden-Service im Bereich Fein- und Hochvakuum einschließlich Fremdfabrikaten an. Dieser Vor-Ort-Service ermöglicht es Kunden, sich auf ihre Prozesse zu konzentrieren und Produktionsausfälle vermeiden, während Energie- und Kosteneinsparungen maximiert werden.
Pfeiffer Vacuum, als Teil der Busch Gruppe, präsentierte auf der SEMICON Europa innovative Vakuumlösungen für die Halbleiterindustrie. Die neue leistungsstarke und robuste Wälzkolben-Vakuumpumpe UltiDry eignet sich für anspruchsvolle Prozesse und überzeugt durch ihre Langlebigkeit und Effizienz.
Centrotherm clean solutions, ein weiteres Unternehmen der Busch Gruppe, das auf das Thema Umwelttechnik spezialisiert ist, zeigte seine nachhaltigen Lösungen für die Abgasreinigung.
Die Besucher der SEMICON Europa nutzten die Gelegenheit, die drei Unternehmen der Busch Gruppe live zu erleben und sich mit den Vakuumexperten persönlich auszutauschen.
SEMICON Europa 2023. Quelle: Pfeiffer Vacuum