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COBRA Semicon

乾式螺旋真空泵浦

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COBRA Semicon 乾式螺旋真空泵浦是光伏電池、平板顯示器、半導體生產等高要求製程以及眾多工業塗層應用的理想之選。

COBRA Semicon 的操作原理基於我們最先進的螺旋式技術。得益於榮獲專利的自平衡螺桿,它們在效率方面樹立了全新標準。

COBRA Semicon 兼具高生產能力與高蒸汽和顆粒耐受性。因此,它們可以順利抽取含顆粒的介質。

無油且非接觸式運行的操作原理可確保低維護需求、低運作成本及長使用壽命。

COBRA Semicon 尺寸精巧,即使在狹小空間中也易於安裝。

操作原理

在 COBRA Semicon 乾式螺旋真空泵浦中,兩個螺桿轉子沿著相反方向旋轉。抽送介質在泵浦缸體和螺桿腔體之間被截留, 在此經壓縮後輸送至排氣口。在此過程中,螺桿轉子不會相互接觸,也不與泵浦缸體接觸。

了解我們的 COBRA Semicon 系列

COBRA BA

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風冷型即插即泵解決方案

  • 先進的螺旋式設計
  • 乾式和非接觸式操作原理
  • 獨特的「懸空軸承」設計
  • 懸臂結構
  • 精巧型設計
  • 高效風冷型
  • 選配變頻器

COBRA BA 系列之益處

COBRA BA 是久經驗證的乾式螺旋真空泵浦,特別適用於殺菌、冶金、氣體回收或熔爐等高要求製程。

榮獲專利的自平衡螺旋式設計可確保最低的振動水準和安靜運行。

COBRA BA 真空泵浦配備鐘形懸臂結構:帶有變螺距螺桿的雙轉子僅安裝於馬達一側。得益於獨特的「懸空軸承」設計,不需要入口軸承。因此,抽送介質不會接觸到軸承。這樣可以確保產生潔淨真空,並可以完全回收抽送介質。

COBRA BA 真空泵浦採用高效的風冷卻方式。

直接安裝的水冷馬達令 COBRA BA 產品系列的尺寸非常精巧

所有 COBRA BA 產品

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    極限壓力:
    0.01 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    85 m³/h

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COBRA BC

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輕度到中度半導體應用的理想解決方案

  • 先進的螺旋式設計
  • 乾式和非接觸式操作原理
  • 獨特的「懸空軸承」設計
  • 懸臂結構
  • 精巧密閉式設計
  • 直接水冷卻
  • 完全開放的通信協議

視訊:COBRA BC 真空泵浦如何運行

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COBRA BC 系列之益處

COBRA BC 真空泵浦非常適合 load lock 和傳送腔體中的任務。此外,它還廣泛適用於度量衡、光刻、物理氣相沉積、快速熱退火和矽基板刻蝕等諸多應用。

榮獲專利的自平衡螺旋式設計可確保最低的振動水準和安靜運行。

COBRA BC 真空泵浦的螺桿由一體式鑄件製成,可避免任何間隙。從而避免製程液體或顆粒進入。因此,可以防止腐蝕和出現沉積。

COBRA BC 真空泵浦配備鐘形懸臂結構:帶有變螺距螺桿的雙轉子僅安裝於馬達一側。得益於獨特的「懸空軸承」設計,不需要入口軸承。因此,抽送介質不會接觸到軸承。這樣可以確保產生潔淨真空,並可以完全回收抽送介質。

COBRA BC 真空泵浦採用高效的直接水冷卻方式。由此可確保泵體均衡的溫度分佈, 亦可確保製程的熱穩定性。

根據完全開放的通信協議(Modbus TCP-IP),您可以控制所有功能。包括怠速模式和變速驅動裝置。該通信協定可以使用標準介面元件輕鬆適用特定的網路通訊協定。

直接安裝的密閉式馬達令 COBRA BC 產品系列的尺寸非常精巧。憑藉其密閉式設計,該系列產品可以被快速、輕鬆地加裝到現有系統中。

所有 COBRA BC 產品

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    極限壓力:
    0.01 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

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  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    極限壓力:
    0.005 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

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  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    極限壓力:
    0.01 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    100 m³/h

    了解更多
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    極限壓力:
    0.003 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    520 m³/h

    了解更多
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    極限壓力:
    0.001 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    530 m³/h

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  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    極限壓力:
    0.003 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    了解更多
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    極限壓力:
    0.003 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    了解更多
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    極限壓力:
    0.001 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    955 m³/h

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COBRA DS

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適用於高要求工藝的新一代乾式真空泵浦

  • 先進的螺旋式設計
  • 乾式和非接觸式操作原理
  • 可完美處理粉末質材料
  • 高效的間接水冷卻
  • 精巧密閉式設計
  • 高抽氣速率,從而排出氫氣
  • 高效率馬達
  • 尺寸多樣並配備集成真空助力器

COBRA DS 系列之益處

COBRA DS 乾式螺旋真空泵浦是適用於高要求製程的理想真空發生器。即使在需要高氫氣輸送量的條件下,亦能勝任。因此,它們非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積等應用。

COBRA DS 系列中各種尺寸的真空泵浦均配備高性能集成真空助力器。底泵浦和真空助力器的組合使用提升了抽氣速率和極限壓力。

榮獲專利的自平衡螺旋式設計可完美處理粉末質材料和並確保長效運行。

COBRA DS 真空泵浦的螺桿由一體式鑄件製成,可避免任何間隙。從而避免製程液體或顆粒進入。因此,可以防止腐蝕和出現沉積。

COBRA DS 系列真空泵浦採用高效的間接水冷卻方式。由此可在整個泵體內實現可控的溫度分佈, 可隨時回應製程變化。

憑藉其密閉式設計,COBRA DS 可快速、輕鬆地加裝到現有系統中。

所有 COBRA DS 產品

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    極限壓力:
    0.03 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    了解更多
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    極限壓力:
    0.01 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    600 m³/h

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  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    極限壓力:
    0.003 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    了解更多
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    極限壓力:
    0.001 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    了解更多
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    極限壓力:
    0.001 hPa (mbar)
    額定抽氣速率:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

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