TORRI BD 0100–0600 A
Многоступенчатые роторные вакуумные насосы
Вакуумные насосы TORRI BD — компактное и энергоэффективное решение для загрузочных шлюзов камер
Универсальность
Самое короткое время откачки для загрузочных шлюзов камер
Эффективность
Очень низкое потребление энергии, минимальный объем технического обслуживания, высокая работоспособность
Компактность
Очень маленький и легкий насос
Технические данные
Рынки и области применения
Производство полупроводников
-
Легкие