Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA DS 0700 - 2000 G

  • Новейшая конструкция винта.
  • Эффективность:
    экономичность, минимальное техническое обслуживание, длительная безотказная работа.
  • Гибкость и ориентированность на область применения.
  • Небольшая длительность производственного цикла за счет высокой скорости откачки.
  • Надежность:
    антикоррозийное покрытие внутренних компонентов.
  • Компактность конструкции.


COBRA DS 0700–2000 G — это безмасляные винтовые вакуумные насосы отлично зарекомендовавшей себя серии COBRA DS. Вакуумные насосы COBRA DS с высокой скоростью откачки, даже в условиях, когда требуется высокая производительность по откачке водорода, идеально подходят для любых ответственных процессов при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Ультрасовременная технология, используемая в винтовых вакуумных насосах COBRA DS, позволяет применять их для удаления сред, содержащих порошковые материалы и твердые частицы.

Безмасляные винтовые вакуумные насосы COBRA DS отличаются использованием технологии сухого сжатия, специально разработанным профилем винта и беспрепятственный выпуском газа. Благодаря этому достигается высокая совместимость с различными типами паров и частиц. Винты изготовлены из цельнолитых деталей, что исключает любые зазоры и предотвращает попадание внутрь технологических жидкостей или частиц, тем самым препятствуя коррозии.

В стандартной комплектации насосы COBRA DS 0700–2000 G оснащаются встроенными вакуумными усилителями, за счет чего повышается скорость перекачки и предельный вакуум. Подкачивающий насос и вакуумный усилитель объединены на компактной опорной раме.

Высокопроизводительные двигатели насосов COBRA DS 0700–2000 G обеспечивают превосходную энергоэффективность. Благодаря минимальным требованиям к техническому обслуживанию, низким эксплуатационным расходам, очень высокому показателю безотказной работы и длительному сроку службы удалось значительно снизить общую стоимость владения, что стало новым стандартом в этом классе производительности.

Модернизация действующих систем за счет установки этих винтовых вакуумных насосов выполняется быстро и просто благодаря их конструкции «установи и работай».

Области применения

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP-CVD).
  • Быстрая термическая обработка.
  • Химическое осаждение из паровой фазы при давлении ниже атмосферного (SACVD).
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD).
  • Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD).
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD).
  • Осаждение атомных слоев (ALD).




 


Серия COBRA — новое поколение безмасляных вакуумных насосов для ответственных процессов.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические характеристики
COBRA DS 0700–2000 G представляют собой винтовые вакуумные насосы с одним подкачивающим насосом. Два винтовых ротора внутри цилиндра винтового вакуумного насоса вращаются в противоположных направлениях. Перекачиваемая среда удерживается между цилиндром и винтовыми камерами, затем сжимается и подается к отверстию для выпуска газов. Во время сжатия два винтовых ротора не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром. Поэтому в камере сжатия не требуется использовать рабочие жидкости или смазочные материалы. В вакуумных насосах серии DS COBRA используется эффективное непрямое водяное охлаждение, обеспечивающее регулируемое распределение температуры по всему корпусу насоса, что позволяет реагировать на изменение параметров процесса. Современная конструкция винтов обеспечивает очень высокую скорость работы насоса для отвода водорода. Для оптимизации производительности системы в насосах COBRA DS 0700–2000 G используются высокоэффективные вакуумные усилители.


COBRA DS 0700-2000 G
COBRA DS 0700-2000 G
скорость перекачки

Воздух при 20 °C. Погрешность ± 10%

50 Hz 60 Hz
скорость перекачки
Технические данные COBRA DS 0700 G COBRA DS 1000 G COBRA DS 2000 G
Номинальная производительность m³/h 50 Hz 500 775 1365
Предельное остаточное давление hPa (mbar) 50 Hz 0,003 (3·10-3) 0,003 (3·10-3) 0,003 (3·10-3)
Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса kW 50 Hz 4,0 4,0 5,5
Номинальная мощность двигателя вакуумного усилителя kW 50 Hz 4,0 4,0 5,5
Расход энергии при предельном остаточном давлении kW 50 Hz 3,0 3,3 5,6
Номинальная частота вращения двигателя форвакуумного насоса min-1 50 Hz 3000 3000 3000
Номинальная частота вращения двигателя вакуумного усилителя min-1 50 Hz 3000 3000 3000
Уровень шума (по ISO 2151) dB(A) 50 Hz <62 <62 <68
Расход воды l / min 50 Hz 5,0 5,0 5,0
Азотопотребление l / min 50 Hz 0-75 0-75 0-75
Вес, приблизительно kg 50 Hz 445 576 668
Размеры (L x W x H) mm 50 Hz 865 x 385 x 917 1034 x 425 x 1017 1063 x 465 x 1069
Впуск / выпуск газа 50 Hz DN 63 / DN 40 DN 100 / DN 40 DN 160 / DN 40

загрузки

COBRA DS 0700 - 2000 G

Standard News

Последние новости