Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA DS 0600 E

  • Новейшая конструкция винта
  • Эффективность:
    низкие эксплуатационные затраты, минимальное обслуживание, высокая продолжительность безотказной работы
  • Гибкость:
    ориентация на область применения
  • Короткие рабочие циклы:
    быстродействие обеспечивается за счет высокой скорости откачки
  • Компактная конструкция
     

Насосы COBRA DS 0600 E — это безмасляные винтовые вакуумные насосы, входящие в линейку проверенных временем насосов серии COBRA DS. Благодаря высокой скорости откачки (в том числе в условиях, когда требуется обеспечить высокую интенсивность удаления водорода) винтовые вакуумные насосы COBRA DS являются оптимальным решением для высокотехнологичных линий по производству фотоэлектрических элементов, плоских панелей и полупроводниковых компонентов. Благодаря применению передовой винтовой вакуумной технологии насосы COBRA DS позволяют осуществлять удаление порошковых сред, а также сред, насыщенных взвесью.

В винтовых вакуумных насосах серии COBRA DS, которые характеризуются непревзойденной эффективностью перекачки газов, осуществляется безмасляное сжатие среды с использованием роторов со специальным профилем. Эти насосы обладают высокой стойкостью к воздействию паров и частиц различного типа. Винты изготавливаются из цельных отливок, что исключает любые зазоры и предотвращает попадание внутрь технологических жидкостей или частиц, тем самым препятствуя коррозии.

Насосы COBRA DS 0600 E, комплектуемые высокоэффективными двигателями, обладают превосходной энергоэффективностью. Благодаря малому объему технического обслуживания, низким эксплуатационным затратам, высокой продолжительности непрерывной работы и большому сроку эксплуатации общая стоимость владения таким насосом крайне мала, что является новым стандартом для систем данного класса производительности.

За счет точного соответствия параметров обеспечивается высокая скорость настройки винтовых вакуумных насосов данного типа и их интеграции в существующие системы.

Области применения

  • Высокоплотная плазма на основе технологии химического осаждения из паровой фазы (HDP-CVD)
  • Быстрая термическая обработка (RTP)
  • Осаждение из паровой фазы при давлении несколько ниже атмосферного (SACVD)
  • Химическое осаждение из паров металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)
  • Высокопроизводительные загрузочные шлюзы

Серия COBRA — новое поколение безмасляных вакуумных насосов для ответственных процессов.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические характеристики
Два винтовых ротора внутри цилиндра насоса COBRA DS вращаются в противоположных направлениях. Перекачиваемая среда захватывается между цилиндром и винтовыми камерами, затем сжимается и подается к отверстию для выпуска газов. Во время сжатия оба винтовых ротора не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром. Поэтому в камере сжатия не нужно использовать рабочие жидкости или смазочные материалы. В вакуумных насосах COBRA DS используется эффективное косвенное водяное охлаждение, обеспечивающее управляемое распределение температуры по всему корпусу насоса и позволяющее осуществлять регулирование в зависимости от изменений параметров процесса. Передовая технология винтовых роторов обеспечивает крайне высокую скорость удаления водорода. В неблагоприятных условиях эксплуатации можно использовать танталовое покрытие.


COBRA DS 0600 E
COBRA DS 0600 E
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA DS 0600 E
Номинальная производительность m³/h 600
Предельное остаточное давление hPa (mbar) 0,01 (1·10-2)
Номинальная мощность двигателя kW 15
Энергопотребление Предельное остаточное давление kW 9
Номинальная частота вращения двигателя min-1 3600
Уровень шума (по ISO 2151) min-1 < 70
Расход воды l / min min, 6
Азотопотребление l / min 0 - 200
Вес, приблизительно kg 745
Размеры (L x W x H) mm 1654 x 600 x 747
Впуск / выпуск газа DN 100 / DN 63

загрузки

COBRA DS 0600 E

Standard News

Последние новости