Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA DS 0080 / 0160 G

  • Новейшая конструкция винта.
  • Эффективность:
    экономичность, минимальное техническое обслуживание, длительная безотказная работа.
  • Гибкость и ориентированность на область применения.
  • Небольшая длительность производственного цикла за счет высокой скорости откачки.
  • Надежность:
    антикоррозийное покрытие внутренних компонентов.
  • Компактность конструкции


COBRA DS 0080/0160 G — это безмасляные винтовые вакуумные насосы отлично зарекомендовавшей себя серии COBRA DS. Вакуумные насосы COBRA DS с высокой скоростью откачки, даже в условиях, когда требуется высокая производительность по откачке водорода, идеально подходят для любых ответственных процессов при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Ультрасовременная технология, используемая в винтовых вакуумных насосах COBRA DS, позволяет применять их для удаления сред, содержащих порошковые материалы и твердые частицы.

Безмасляные винтовые вакуумные насосы COBRA DS отличаются использованием технологии сухого сжатия, специально разработанным профилем винта и беспрепятственнымвыпуском газа. Благодаря этому достигается высокая совместимость с различными типами паров и частиц. Винты изготовлены из цельнолитых деталей, что исключает любые зазоры и предотвращает попадание внутрь технологических жидкостей или частиц, тем самым препятствуя коррозии.

Высокопроизводительные двигатели насосов COBRA DS 0080/0160 G обеспечивают высочайшую энергоэффективность. Благодаря минимальным требованиям к техническому обслуживанию, низким эксплуатационным расходам, очень высокому показателю безотказной работы и длительному сроку службы удалось значительно снизить общую стоимость владения, что стало новым стандартом в этом классе производительности.

Модернизация действующих систем за счет установки этих винтовых вакуумных насосов выполняется быстро и просто благодаря их конструкции «установи и работай».

Области применения

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP-CVD).
  • Быстрая термическая обработка.
  • Химическое осаждение из паровой фазы при давлении ниже атмосферного (SACVD).
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD).
  • Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD).
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD).
  • Осаждение атомных слоев (ALD).






 


Серия COBRA — новое поколение безмасляных вакуумных насосов для ответственных процессов.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические характеристики
Два винтовых ротора внутри цилиндра насоса COBRA DS вращаются в противоположных направлениях. Перекачиваемая среда удерживается между цилиндром и винтовыми камерами, затем сжимается и подается к отверстию для выпуска газов. Во время сжатия два винтовых ротора не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром. Поэтому в камере сжатия не требуется использовать рабочие жидкости или смазочные материалы. В вакуумных насосах серии DS COBRA используется эффективное непрямое водяное охлаждение, обеспечивающее регулируемое распределение температуры по всему корпусу насоса, что позволяет реагировать на изменение параметров процесса. Современная конструкция винтов обеспечивает очень высокую скорость работы насоса для отвода водорода.


COBRA DS 0080/0160 G
COBRA DS 0080/0160 G
скорость перекачки

Воздух при 20 °C. Погрешность ± 10%

50 Hz 60 Hz
скорость перекачки
Технические данные COBRA DS 0080 G COBRA DS 0160 G
Номинальная производительность m³/h 50 Hz 70 140
Предельное остаточное давление hPa (mbar) 50 Hz 0,03 (3·10-2) 0,03 (3·10-2)
Номинальная мощность двигателя kW 50 Hz 4,0 5,5
Энергопотребление Предельное остаточное давление kW 50 Hz 2,6 4,3
Номинальная частота вращения двигателя min-1 50 Hz 3000 3000
Уровень шума (по ISO 2151) dB(A) 50 Hz <62 <68
Расход воды l / min 50 Hz 4,0 4,0
Азотопотребление l / min 50 Hz 0 – 75 0-75
Вес, приблизительно kg 50 Hz 276 338
Размеры (L x W x H) mm 50 Hz 865 x 385 x 667 975 x 425 x 697
Впуск / выпуск газа 50 Hz DN 40 / DN 40 DN 50 / DN 40

загрузки

COBRA DS 0080 / 0160 G

Standard News

Последние новости