Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA BC 1000 / 2000 F

  • Высокоэффективный:
    экономичный, с длительным сроком безотказной работы и низким энергопотреблением
  • Простой в обслуживании:
    большие межсервисные интервалы
  • Надежный:
    надежный в эксплуатации
  • Гибкий в использовании:
    ориентированный на область применения
  • Бесшумный:
    уровень шума < 62 дБА
     

COBRA BC 1000 F и BC 2000 F представляют собой два сухих винтовых насоса для из хорошо зарекомендовавшей себя серии COBRA BC. Благодаря таким высоким характеристикам, как скорость работы и пропускная способность по водороду, они идеально подходят для любых ответственных процессов при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. В вакуумных насосах COBRA применяется безмасляная и бесконтактная технология, что обеспечивает возможность использования с порошковыми материалами и твердыми частицами.

В стандартной комплектации все насосы COBRA BC 1000 F и BC 2000 F оснащаются встроенными вакуумными усилителями, за счет чего повышается скорость перекачки и показатели предельного вакуума. Компактная базовая конструкция объединяет в себе форвакуумный насос и вакуумный усилитель.

Насосы COBRA BC 1000 F и BC 2000 F оснащаются высокоэффективными электродвигателями с функцией режима ожидания, тем самым обеспечивая оптимальные показатели сбережения энергии. За счет компактных размеров им требуется очень мало места, а благодаря чрезвычайно низкому расходу энергии эксплуатационные затраты всегда будут минимальными. Длительный срок эксплуатации вакуумных насосов COBRA BC также позволяет сократить общие затраты. Эти винтовые вакуумные насосы легко и быстро адаптируются и встраиваются в существующие системы.

Области применения

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
  • Быстрая термическая обработка (RTP)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при давлении ниже атмосферного (SACVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)
  • Вакуумный шлюз высокой производительности

COBRA –следующий уровень высокопроизводительных вакуумных насосов, работающих в тяжелом режиме.

COBRA –следующий уровень высокопроизводительных вакуумных насосов, работающих в тяжелом режиме.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические данные

Технические спецификации
Насосы COBRA BC 1000 F и BC 2000 F представляют собой одноступенчатые, двухвальные винтовые вакуумные насосы. Внутри цилиндра вращаются два винтовых ротора, которые захватывают и сжимают перекачиваемую среду, подаваемую затем к выпускному отверстию для газов. Во время сжатия винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром, в результате чего отпадает необходимость в использовании смазочных материалов и рабочих жидкостей в камере сжатия. Благодаря последнему усовершенствованию винтовой конструкции значительно снижается потребление энергии, и кроме этого, удается избежать высоких температур газа при сжатии. Современная винтовая технология также дает возможность развивать очень высокую скорость работы для выпуска водорода. Вакуумный усилитель используется в качестве усилителя в комбинации с винтовым вакуумный насосом в едином компактном блоке. Эффективное непрямое водяное охлаждение обеспечивает равномерное распределение темпе-ратуры в вакуумном насосе и гарантирует термическую стабильность на всем протяжении процесса. Винтовые вакуумные насосы COBRA BC могут также поставляться со специальным покрытием, обеспеч-ивающим возможность работы с агрессивными газами и парами.

Рисунок COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Номинальная производительность 930 m³/h 1580 m³/h
Предельное остаточное давление 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса 1,5 kW 2,9 kW
Номинальная мощность двигателя вакуумного усилителя 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Уровень шума (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Расход воды 3,0 l/min 3,0 l/min
Азотопотребление 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Вес, приблизительно 310 kg 360 kg
Размеры (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Впуск/выпуск газа DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Все данные о производительности приводятся для условий окружающей среды 14,7 фунта на кв. дюйм (абс.) и 70 °F и имеют отклонение ±10 %.    

Технические данные

Технические спецификации
Насосы COBRA BC 1000 F и BC 2000 F представляют собой одноступенчатые, двухвальные винтовые вакуумные насосы. Внутри цилиндра вращаются два винтовых ротора, которые захватывают и сжимают перекачиваемую среду, подаваемую затем к выпускному отверстию для газов. Во время сжатия винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром, в результате чего отпадает необходимость в использовании смазочных материалов и рабочих жидкостей в камере сжатия. Благодаря последнему усовершенствованию винтовой конструкции значительно снижается потребление энергии, и кроме этого, удается избежать высоких температур газа при сжатии. Современная винтовая технология также дает возможность развивать очень высокую скорость работы для выпуска водорода. Вакуумный усилитель используется в качестве усилителя в комбинации с винтовым вакуумный насосом в едином компактном блоке. Эффективное непрямое водяное охлаждение обеспечивает равномерное распределение темпе-ратуры в вакуумном насосе и гарантирует термическую стабильность на всем протяжении процесса. Винтовые вакуумные насосы COBRA BC могут также поставляться со специальным покрытием, обеспеч-ивающим возможность работы с агрессивными газами и парами.

Рисунок
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz
60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Номинальная производительность 930 m³/h 1580 m³/h
Предельное остаточное давление 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса 1,5 kW 2,9 kW
Номинальная мощность двигателя вакуумного усилителя 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Уровень шума (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Расход воды 3,0 l/min 3,0 l/min
Азотопотребление 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Вес, приблизительно 310 kg 360 kg
Размеры (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Впуск/выпуск газа DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Все данные о производительности приводятся для условий окружающей среды 14,7 фунта на кв. дюйм (абс.) и 70 °F и имеют отклонение ±10 %.    

загрузки

COBRA BC 1000 / 2000 F

Вы не нашли подходящее оборудование?

Standard News

Последние новости