Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA BC 1000 / 2000 F

  • Высокоэффективный:
    экономичный, с длительным сроком безотказной работы и низким энергопотреблением
  • Простой в обслуживании:
    большие межсервисные интервалы
  • Надежный:
    надежный в эксплуатации
  • Гибкий в использовании:
    ориентированный на область применения
  • Бесшумный:
    уровень шума < 62 дБА
     

COBRA BC 1000 F и BC 2000 F представляют собой два сухих винтовых насоса для из хорошо зарекомендовавшей себя серии COBRA BC. Благодаря таким высоким характеристикам, как скорость работы и пропускная способность по водороду, они идеально подходят для любых ответственных процессов при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. В вакуумных насосах COBRA применяется безмасляная и бесконтактная технология, что обеспечивает возможность использования с порошковыми материалами и твердыми частицами.

В стандартной комплектации все насосы COBRA BC 1000 F и BC 2000 F оснащаются встроенными вакуумными усилителями, за счет чего повышается скорость перекачки и показатели предельного вакуума. Компактная базовая конструкция объединяет в себе форвакуумный насос и вакуумный усилитель.

Насосы COBRA BC 1000 F и BC 2000 F оснащаются высокоэффективными электродвигателями с функцией режима ожидания, тем самым обеспечивая оптимальные показатели сбережения энергии. За счет компактных размеров им требуется очень мало места, а благодаря чрезвычайно низкому расходу энергии эксплуатационные затраты всегда будут минимальными. Длительный срок эксплуатации вакуумных насосов COBRA BC также позволяет сократить общие затраты. Эти винтовые вакуумные насосы легко и быстро адаптируются и встраиваются в существующие системы.

Области применения

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
  • Быстрая термическая обработка (RTP)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при давлении ниже атмосферного (SACVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)
  • Вакуумный шлюз высокой производительности

COBRA –следующий уровень высокопроизводительных вакуумных насосов, работающих в тяжелом режиме.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические спецификации
Насосы COBRA BC 1000 F и BC 2000 F представляют собой одноступенчатые, двухвальные винтовые вакуумные насосы. Внутри цилиндра вращаются два винтовых ротора, которые захватывают и сжимают перекачиваемую среду, подаваемую затем к выпускному отверстию для газов. Во время сжатия винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром, в результате чего отпадает необходимость в использовании смазочных материалов и рабочих жидкостей в камере сжатия. Благодаря последнему усовершенствованию винтовой конструкции значительно снижается потребление энергии, и кроме этого, удается избежать высоких температур газа при сжатии. Современная винтовая технология также дает возможность развивать очень высокую скорость работы для выпуска водорода. Вакуумный усилитель используется в качестве усилителя в комбинации с винтовым вакуумный насосом в едином компактном блоке. Эффективное непрямое водяное охлаждение обеспечивает равномерное распределение темпе-ратуры в вакуумном насосе и гарантирует термическую стабильность на всем протяжении процесса. Винтовые вакуумные насосы COBRA BC могут также поставляться со специальным покрытием, обеспеч-ивающим возможность работы с агрессивными газами и парами.


COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Номинальная производительность m³/h 930 1580
Nominal motor speed mechanical booster (MB) kW 2,9
Предельное остаточное давление hPa (mbar) 0,003 0,003
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode kW 2,1 / 1,5 3,0 / 1,9
Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса kW 1,5 2,9
Номинальная мощность двигателя вакуумного усилителя kW 4,0
Nominal motor speed booster pump min-1 5400 5400
Номинальная частота вращения двигателя форвакуумного насоса min-1 3000 4800
Уровень шума (по ISO 2151) dB(A) 62 62
Расход воды l / min 3,0 3,0
Азотопотребление l / min 0 - 50 0 - 50
Вес, приблизительно kg 310 360
Размеры (L x W x H) mm 1054 x 425 x 615 1054 x 425 x 615
Впуск / выпуск газа 50 Hz DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Все данные о производительности приводятся для условий окружающей среды 14,7 фунта на кв. дюйм (абс.) и 70 °F и имеют отклонение ±10 %.    

загрузки

COBRA BC 1000 / 2000 F

Standard News

Последние новости