Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA BC 0100 / 0200 F

  • Высокоэффективный:
    экономичный, с длительным сроком безотказной работы и низким энергопотреблением
  • Простой в обслуживании:
    большие межсервисные интервалы
  • Надежный:
    надежный в эксплуатации
  • Гибкий в использовании:
    ориентированный на область применения
  • Бесшумный:
    уровень шума < 58 дБА
     

COBRA BC 0100 F представляет собой безмасляный винтовой вакуумный насос серии COBRA BC, в котором использованы компактные современные технологические решения для работы в загрузочных шлюзах с дополнительными технологическими возможностями, предназначенные для ответственных процессов производства солнечных, плоскопанельных и полупроводниковых систем. Этот вакуумный насос обладает высокими характеристиками по удалению порошка, основанными на уникальной винтовой конструкции.

Оснащенный эффективными двигателями и новейшей возможностью переключения в режим ожидания насос COBRA BC 0100 F способен обеспечить непревзойденную экономию электроэнергии. Благодаря малой занимаемой площади и возможностям энергосбережения общая стоимость владения таким вакуумным насосом серии COBRA будет весьма низкой.

Области применения
 

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
  • Быстрая термическая обработка
  • Химическое осаждение из паровой фазы при субатмосферном давлении (SACVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)
  • Вакуумный шлюз высокой производительности

COBRA –следующий уровень высокопроизводительных вакуумных насосов, работающих в тяжелом режиме.

COBRA –следующий уровень высокопроизводительных вакуумных насосов, работающих в тяжелом режиме.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические данные

Технические характеристики
COBRA BC 0100 F оснащен двумя винтовыми роторами, которые вращаются в противоположных направлениях. За счет этого перекачиваемая среда сначала оказывается между цилиндром и винтовыми камерами, а затем подается к отверстию для выпуска газов. Винтовой механизм сокращает площади скольжения внутри насоса, тем самым обеспечивая оптимальную работу с порошком и возможности перезапуска.

Новейшая винтовая конструкция обеспечивает снижение потребления электроэнергии по сравнению с обычными винтовыми насосами. Кроме того, уменьшается тепловая нагрузка сжатого газа. В насосах серии BC используется метод прямого охлаждения, в результате чего достигается равномерность температур по всему корпусу насоса и отсутствие непрогретых мест, а также термическая стабильность водяной рубашки.

Уникальная конструкция винта с плавающим подшипником исключает возможные неисправности подшипника на входе и уменьшает площадь насоса в основании. Винтовые вакуумные насосы COBRA BC могут также поставляться со специальным покрытием, обеспечивающим возможность работы с агрессивными газами и парами.

Рисунок COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Производительность насоса

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Производительность насоса
Технические данные COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Номинальная производительность 100 m³/h 165 m³/h
Предельное остаточное давление 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Номинальная мощность двигателя 1,5 kW 2,9 kW
Номинальная частота вращения двигателя 3600 min-1 4570 min-1
Энергопотребление Предельное остаточное давление 1,3 kW 1,6 kW
Уровень шума (по ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Расход воды min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min
Азотопотребление 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Вес, приблизительно 120 m³/h 130 kg
Размеры (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Впуск / выпуск газа DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Технические данные

Технические характеристики
COBRA BC 0100 F оснащен двумя винтовыми роторами, которые вращаются в противоположных направлениях. За счет этого перекачиваемая среда сначала оказывается между цилиндром и винтовыми камерами, а затем подается к отверстию для выпуска газов. Винтовой механизм сокращает площади скольжения внутри насоса, тем самым обеспечивая оптимальную работу с порошком и возможности перезапуска.

Новейшая винтовая конструкция обеспечивает снижение потребления электроэнергии по сравнению с обычными винтовыми насосами. Кроме того, уменьшается тепловая нагрузка сжатого газа. В насосах серии BC используется метод прямого охлаждения, в результате чего достигается равномерность температур по всему корпусу насоса и отсутствие непрогретых мест, а также термическая стабильность водяной рубашки.

Уникальная конструкция винта с плавающим подшипником исключает возможные неисправности подшипника на входе и уменьшает площадь насоса в основании. Винтовые вакуумные насосы COBRA BC могут также поставляться со специальным покрытием, обеспечивающим возможность работы с агрессивными газами и парами.

Рисунок
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Производительность насоса

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz
60 Hz
Производительность насоса
Технические данные COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Номинальная производительность 100 m³/h 165 m³/h
Предельное остаточное давление 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Номинальная мощность двигателя 1,5 kW 2,9 kW
Номинальная частота вращения двигателя 3600 min-1 4570 min-1
Энергопотребление Предельное остаточное давление 1,3 kW 1,6 kW
Уровень шума (по ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Расход воды min, 1,0 l/min min, 2,0 l/min
Азотопотребление 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Вес, приблизительно 120 m³/h 130 kg
Размеры (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Впуск / выпуск газа DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

загрузки

COBRA BC 0100 / 0200 F

Busch Vacuum App

Зарегистрируйте Ваш вакуумный насос -Сэкономьте Ваше время и расходы!

Зарегистрируйте вакуумные насосы Busch и получите выгоду от экономии времени и средств.
 

Vacuum-App.png

Standard News

Последние новости