Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA BC 0100 / 0200 F

  • Высокоэффективный:
    экономичный, с длительным сроком безотказной работы и низким энергопотреблением
  • Простой в обслуживании:
    большие межсервисные интервалы
  • Надежный:
    надежный в эксплуатации
  • Гибкий в использовании:
    ориентированный на область применения
  • Бесшумный:
    уровень шума < 58 дБА
     

COBRA BC 0100 F представляет собой безмасляный винтовой вакуумный насос серии COBRA BC, в котором использованы компактные современные технологические решения для работы в загрузочных шлюзах с дополнительными технологическими возможностями, предназначенные для ответственных процессов производства солнечных, плоскопанельных и полупроводниковых систем. Этот вакуумный насос обладает высокими характеристиками по удалению порошка, основанными на уникальной винтовой конструкции.

Оснащенный эффективными двигателями и новейшей возможностью переключения в режим ожидания насос COBRA BC 0100 F способен обеспечить непревзойденную экономию электроэнергии. Благодаря малой занимаемой площади и возможностям энергосбережения общая стоимость владения таким вакуумным насосом серии COBRA будет весьма низкой.

Области применения
 

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
  • Быстрая термическая обработка
  • Химическое осаждение из паровой фазы при субатмосферном давлении (SACVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)
  • Вакуумный шлюз высокой производительности

COBRA –следующий уровень высокопроизводительных вакуумных насосов, работающих в тяжелом режиме.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические характеристики
COBRA BC 0100 F оснащен двумя винтовыми роторами, которые вращаются в противоположных направлениях. За счет этого перекачиваемая среда сначала оказывается между цилиндром и винтовыми камерами, а затем подается к отверстию для выпуска газов. Винтовой механизм сокращает площади скольжения внутри насоса, тем самым обеспечивая оптимальную работу с порошком и возможности перезапуска.

Новейшая винтовая конструкция обеспечивает снижение потребления электроэнергии по сравнению с обычными винтовыми насосами. Кроме того, уменьшается тепловая нагрузка сжатого газа. В насосах серии BC используется метод прямого охлаждения, в результате чего достигается равномерность температур по всему корпусу насоса и отсутствие непрогретых мест, а также термическая стабильность водяной рубашки.

Уникальная конструкция винта с плавающим подшипником исключает возможные неисправности подшипника на входе и уменьшает площадь насоса в основании. Винтовые вакуумные насосы COBRA BC могут также поставляться со специальным покрытием, обеспечивающим возможность работы с агрессивными газами и парами.


COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Производительность насоса

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Производительность насоса
Технические данные COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Номинальная производительность m³/h 100 165
Предельное остаточное давление hPa (mbar) 0,01 0,01
Номинальная мощность двигателя kW 1,8 2,9
Энергопотребление Предельное остаточное давление kW 1,3 1,6
Номинальная частота вращения двигателя min-1 3600 4570
Уровень шума (по ISO 2151) dB(A) 58 60
Расход воды l / min 1,0 2,0
Азотопотребление l / min 0 - 50 0 - 50
Вес, приблизительно m³/h 120 130
Размеры (L x W x H) mm 829 x 304 x 362 806 x 304 x 392
Впуск / выпуск газа DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

загрузки

COBRA BC 0100 / 0200 F

Standard News

Последние новости