COBRA DS 8162/8163 B/F
Сухие винтовые вакуумные насосы
COBRA DS — новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с повышенными требованиями
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная форма винта, превосходные эксплуатационные характеристики, встроенный двухроторный бустерный вакуумный насос, оптимальное решение для высокопроизводительных загрузочных шлюзов и установок для нанесения покрытия
Эффективность
Низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, длительные межсервисные интервалы, высокая работоспособность, эффективное водяное охлаждение, высокая пропускная способность для растворителей
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос, форвакуумный насос и двухроторный бустерный вакуумный насос, монтаж на одной компактной несущей раме, модульная конструкция
Технические данные
Рынки и области применения
-
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
-
Камеры загрузочных шлюзов
-
Органический светоизлучающий диод (OLED)
-
Конденсация из паровой фазы (PVD)
-
Дегазация
-
Средние
-
Легкие