COBRA DS 3010/3161 C/G
Сухие винтовые вакуумные насосы
COBRA DS — новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с повышенными требованиями
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная форма винта, превосходные эксплуатационные характеристики, встроенный двухроторный бустерный вакуумный насос, оптимальное решение для установок химического осаждения из паровой фазы, систем быстрой термообработки или атомно-слоевого осаждения
Эффективность
Низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, длительные межсервисные интервалы, высокая работоспособность, эффективное водяное охлаждение косвенного типа, высокая пропускная способность для водорода
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос, форвакуумный насос и двухроторный бустерный вакуумный насос, монтаж на одной компактной несущей раме
Технические данные
Рынки и области применения
-
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
-
Камеры загрузочных шлюзов
-
Органический светоизлучающий диод (OLED)
-
Конденсация из паровой фазы (PVD)
-
Дегазация
-
Средние
-
Тяжелые
-
Легкие
-
Камеры загрузочных шлюзов
-
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
Аксессуары
- Дополнительно доступна версия для порошкового процесса (только для DS 3010 G и DS 3161 C)
- Дополнительное танталовое покрытие