COBRA DS 2141 A
Сухой винтовой вакуумный насос
COBRA DS — новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с повышенными требованиями
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная конструкция винта, превосходные эксплуатационные характеристики, встроенный двухроторный бустерный вакуумный насос Рутса, отличная работа с порошком, оптимальное решение для установок по производству полупроводников, плоских дисплеев и панелей солнечных систем
Эффективность
Низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, длительные межсервисные интервалы, высокая работоспособность, эффективное водяное охлаждение косвенного типа, высокая пропускная способность для водорода, регулирование температуры, низкий уровень вибрации
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос, встроенная панель управления, форвакуумный насос и двухроторный бустерный вакуумный насос Рутса, монтаж на одной компактной несущей раме
Технические данные
Рынки и области применения
-
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
-
Камеры загрузочных шлюзов
-
Органический светоизлучающий диод (OLED)
-
Конденсация из паровой фазы (PVD)
-
Средние
-
Тяжелые
-
Легкие
-
Конденсация из паровой фазы (PVD)
-
Изготовление слоистых материалов
-
Разливка в слитки
-
Камеры загрузочных шлюзов
-
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)