COBRA BC 0601–1200 A/G
Сухие винтовые вакуумные насосы
COBRA BC — идеальное решение для работы с полупроводниками в системах со средними и легкими условиями эксплуатации
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная форма винта, конструкция в виде колокола, запатентованные самобалансирующиеся винты, превосходные эксплуатационные характеристики, встроенный двухроторный бустерный вакуумный насос, оптимальное решение для процессов холодного осаждения атомных слоев, загрузочных шлюзов и транспортировочных камер, метрологии, литографии, конденсации из паровой фазы, быстрого термального отжига и травления, включая травление оксида, кремния и металла
Эффективность
Низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, длительные межсервисные интервалы, высокая работоспособность, прямое водяное охлаждение
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос, форвакуумный насос и двухроторный бустерный вакуумный насос, монтаж на одной компактной несущей раме
Технические данные
Рынки и области применения
-
Средние
-
Конденсация из паровой фазы (PVD)