COBRA BC 0101 G
Сухой винтовой вакуумный насос
COBRA BC — идеальное решение для работы с полупроводниками в системах со средними и легкими условиями эксплуатации
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная форма винта, конструкция в виде колокола, запатентованные самобалансирующиеся винты, превосходные эксплуатационные характеристики, оптимальное решение для загрузочных шлюзов и транспортировочных камер, метрологии, литографии, систем конденсации из паровой фазы и быстрого термального отжига
Эффективность
Интеллектуальный привод с регулируемой скоростью вращения, низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, высокая работоспособность, прямое водяное охлаждение
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос, встроенная панель управления
Технические данные
Рынки и области применения
Производство полупроводников
-
Легкие