Fabricația cu vid a semiconductorilor

Pompele de vid Busch sunt operate de cele mai importante fabrici de semiconductori, fiind renumite pentru fiabilitatea lor. Rezultatul a numeroși ani în care am ascultat doleanțele partenerilor noștri din industria semiconductorilor, precum și cerințele proceselor acestora.

Permiteți-ne să vă îndrumăm pentru a găsi soluția perfectă pentru cerințele procesului dumneavoastră.

Servicii pentru semiconductori

ARPQP
Noul serviciu de refabricare a pompelor de vid de la Busch. Special pentru piața de semiconductori și ecrane plate.
Aflați mai multe
Gestionarea completă a spațiilor tehnice de la subsolul fabricilor de semiconductori
Soluție holistică de service la fața locului pentru un mediu de fabricație sigur și stabil, în fabrica dumneavoastră de semiconductori.
Aflați mai multe
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

SOLUȚIILE NOASTRE PENTRU FABRICAȚIA DE SEMICONDUCTORI

Soluțiile de vid de la Busch sunt alegerea de încredere pentru toate aplicațiile cu semiconductori. Acolo unde fiabilitatea ridicată, costul de proprietate redus și comunicațiile prin instrumente inteligente cu semiconductori sunt absolut obligatorii. De la camere de încărcare tampon până la cele mai dificile procese de generare a particulelor. La nivel mondial, aprovizionăm cele mai importante fabrici de semiconductori cu sisteme de vid. Și, ulterior, asigurăm asistență la fața locului, dintr-o singură sursă.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Aplicații ușoare (camere de încărcare tampon și camere de transfer, metrologie, litografie)	✓	✓	✓	✓
Aplicații medii (procese de depunere fizică din vapori (PVD), precurățare PVD, recoacere termică rapidă (RTA), dezizolare/calcinare, decapare de oxizi, decapare de siliciu)	✓		✓	✓
Aplicații solicitante (decapare de metal, sursă de implantare, HDP, CVD, RTP, epitaxie, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓

COBRA
Pompe de vid cu șurub uscate
Aflați mai multe
TORRI
Pompe de vid cu lobi rotativi în mai multe trepte
Aflați mai multe
VACTEST
Echipament de măsurare a vidului
Aflați mai multe
TAPIR
Detectoare de scurgeri
Aflați mai multe

Studii de caz

Evitarea timpilor neplanificați de întrerupere a funcționării în fabricile de semiconductori cu ajutorul service-ului de vid preventiv

Aflați mai multe

AVEȚI NEVOIE DE AJUTOR PENTRU A GĂSI SOLUȚIA POTRIVITĂ?

Fabricația cu vid a semiconductorilor

Servicii pentru semiconductori

SOLUȚIILE NOASTRE PENTRU FABRICAȚIA DE SEMICONDUCTORI

Studii de caz

Evitarea timpilor neplanificați de întrerupere a funcționării în fabricile de semiconductori cu ajutorul service-ului de vid preventiv

AVEȚI NEVOIE DE AJUTOR PENTRU A GĂSI SOLUȚIA POTRIVITĂ?