Sisteme de reducere a gazelor

GABA AWE reprezintă epuratoarele noastre umede inovatoare, dezvoltate special pentru procese de creștere epitaxială (EPI) critice în industria semiconductorilor. Acestea combină fiabilitatea operațională maximă cu cel mai înalt nivel de stabilitate a procesului.

Seria noastră AWE este prevăzută cu o admisie brevetată a gazelor nocive, care previne colmatarea admisiei epuratorului. Aceasta duce la o durată de utilizare extinsă și, în același timp, la costuri de operare reduse. Întreținerea se limitează la înlocuirea dispozitivului anti-colmatare la admisie la intervalele de service specificate. Aceasta poate fi realizată cu ușurință, fără a fi necesară demontarea unității.

Designul special al produsului GABA AWE face ca separarea produșilor secundari din procesele de producție într-un purjor de condens să fie depășită. Epuratorul umed poate gestiona toate reziduurile tehnologice, fără a bloca admisia gazului. Produșii secundari solubili în apă reacționează în lichidul de epurare, solidele sunt separate ca particule sau pompate în exterior, împreună cu apa reziduală, în timpul funcționării.

Vidul pentru procesul de producție este asigurat și controlat în mod activ prin intermediul unei unități Venturi cu frecvență controlată. Acesta asigură presiunea constantă de proces la fabrica de producție și funcționarea fără probleme. Toate setările procesului pot fi realizate prin intermediul unui controler logic programabil (PLC) cu afișaj color și ecran tactil.

Sistemele GABA AFC de reducere a gazelor sunt concepute pentru a reduce sau a elimina gazele periculoase și poluanții atmosferici în timpul proceselor de fabricație. În principiu, acestea schimbă compoziția chimică a gazelor. Prin utilizarea unei combinații între tehnologia de oxidare termică catalitică fără flacără și tehnologia de reducere termică umedă a gazelor, este posibilă tratarea gazelor inflamabile și solubile.

Produsele GABA AFC utilizează un încălzitor la temperaturi ridicate cu catalizatori încălziți. Aceasta permite o ardere perfectă, fără flacără. Pentru creșterea eficienței de eliminare a gazelor țintă sunt esențiale o temperatură corespunzătoare și fluidele de operare corecte. Sistemul termic asigură condiții de tratare stabile, în timp ce produce o cantitate semnificativ redusă de produși secundari (adică NO_x, CO₂etc.). Ulterior, gazele solubile în apă, produșii secundari și gazele fierbinți din camera reactorului sunt procesate în camera umedă.

Pentru a evita contaminarea în timpul întreținerii, produsele GABA AFC au fost proiectate ca sisteme complet interschimbabile. Toate modulele pot fi înlocuite individual, fără deschiderea camerei.

Sistemele de reducere a gazelor din seria AFC sunt livrate cu patru orificii de admisie pentru proces ca echipare standard. Astfel, sistemul poate fi racordat la patru camere diferite ale unui instrument tehnologic sau la mai multe instrumente, în funcție de aplicație.

Sistemele de reducere a gazelor detoxifică gazele periculoase și poluanții atmosferici în timpul proceselor de producție. Acest proces este necesar pentru a le elibera în atmosferă în siguranță. Gazele diferite necesită tehnologii de tratare diferite, cum ar fi tehnologia termică, umedă sau o combinație a celor două tehnologii.

Reducerea gazelor este procesul prin care se modifică compoziția chimică a gazelor periculoase și a poluanților atmosferici. Acest lucru este necesar pentru ca acestea să poată fi eliberate în atmosferă fără a dăuna animalelor sau oamenilor.

Tehnologie catalitică fără flacără
Acest sistem de catalizator combină tehnologia de oxidare termică catalitică fără flacără cu tehnologia de tratare umedă pentru a reduce gazele inflamabile, solubile în apă și NF₃. Pulberea și gazele solubile în apă care pot fi generate în timpul oxidării termice vor fi captate într-o zonă de umectare cu trepte multiple din amonte.

Tehnologie termică umedă
Tehnologia de tratare termo-electrică și cea de tratare umedă sunt combinate într-un singur sistem pentru reducerea gazelor pe bază de hidruri, precum NH₃, SiH₄, dar și NF₃. În camera de ardere, proprietățile chimice ale gazelor de proces inflamabile și pirofore sunt modificate prin oxidare termică. După aceea, gazele solubile în apă sunt dizolvate în camera umedă din amonte.

Epurator umed
Fluxul de gaz de evacuare, în special cel provenit din procesele de epitaxie, este pulverizat cu apă în patru camere de reacție individuale. Produșii secundari solizi sunt captați în picături de apă și sunt dizolvați. După aceea, un absorbant separă apa de fluxul de gaz de evacuare.