Sisteme de reducere a gazelor

GABA AWE reprezintă epuratoarele noastre umede inovatoare, dezvoltate special pentru procese de creștere epitaxială (EPI) critice în industria semiconductorilor. Acestea combină fiabilitatea operațională maximă cu cel mai înalt nivel de stabilitate a procesului.

Seria noastră AWE este prevăzută cu o admisie brevetată a gazelor nocive, care previne colmatarea admisiei epuratorului. Aceasta duce la o durată de utilizare extinsă și, în același timp, la costuri de operare reduse. Întreținerea se limitează la înlocuirea dispozitivului anti-colmatare la admisie la intervalele de service specificate. Aceasta poate fi realizată cu ușurință, fără a fi necesară demontarea unității.

Designul special al produsului GABA AWE face ca separarea produșilor secundari din procesele de producție într-un purjor de condens să fie depășită. Epuratorul umed poate gestiona toate reziduurile tehnologice, fără a bloca admisia gazului. Produșii secundari solubili în apă reacționează în lichidul de epurare, solidele sunt separate ca particule sau pompate în exterior, împreună cu apa reziduală, în timpul funcționării.

Vidul pentru procesul de producție este asigurat și controlat în mod activ prin intermediul unei unități Venturi cu frecvență controlată. Acesta asigură presiunea constantă de proces la fabrica de producție și funcționarea fără probleme. Toate setările procesului pot fi realizate prin intermediul unui controler logic programabil (PLC) cu afișaj color și ecran tactil.

Sistemele GABA ATW de reducere a gazelor funcționează pe baza tehnologiei de reducere termică umedă a gazelor. Aceasta înseamnă că sistemele modifică proprietățile chimice ale gazelor de proces. Prin oxidare termică fără flacără, în cazul gazelor inflamabile și pirofore, și prin dizolvare în apă, în cazul gazelor solubile în apă.

Sistemul ATW poate atinge aceleași temperaturi ridicate ca și un sistem epurator cu arzător, dar fără a utiliza gaze naturale, ci energie electrică. Astfel sunt eliminate toate riscurile asociate cu gazele din procesele de fabricație.

Produsele noastre GABA ATW sunt concepute pentru a fi racordate la sistemul general de evacuare al fabricii. Aceste sisteme de reducere a gazelor sunt prevăzute cu patru orificii de admisie pentru proces. Astfel, sistemul poate fi racordat la patru camere diferite ale unui instrument tehnologic sau la mai multe instrumente, în funcție de aplicație.

Sistemele de reducere a gazelor detoxifică gazele periculoase și poluanții atmosferici în timpul proceselor de producție. Acest proces este necesar pentru a le elibera în atmosferă în siguranță. Gazele diferite necesită tehnologii de tratare diferite, cum ar fi tehnologia termică, umedă sau o combinație a celor două tehnologii.

Reducerea gazelor este procesul prin care se modifică compoziția chimică a gazelor periculoase și a poluanților atmosferici. Acest lucru este necesar pentru ca acestea să poată fi eliberate în atmosferă fără a dăuna animalelor sau oamenilor.

Tehnologie catalitică fără flacără
Acest sistem de catalizator combină tehnologia de oxidare termică catalitică fără flacără cu tehnologia de tratare umedă pentru a reduce gazele inflamabile, solubile în apă și NF₃. Pulberea și gazele solubile în apă care pot fi generate în timpul oxidării termice vor fi captate într-o zonă de umectare cu trepte multiple din amonte.

Tehnologie termică umedă
Tehnologia de tratare termo-electrică și cea de tratare umedă sunt combinate într-un singur sistem pentru reducerea gazelor pe bază de hidruri, precum NH₃, SiH₄, dar și NF₃. În camera de ardere, proprietățile chimice ale gazelor de proces inflamabile și pirofore sunt modificate prin oxidare termică. După aceea, gazele solubile în apă sunt dizolvate în camera umedă din amonte.

Epurator umed
Fluxul de gaz de evacuare, în special cel provenit din procesele de epitaxie, este pulverizat cu apă în patru camere de reacție individuale. Produșii secundari solizi sunt captați în picături de apă și sunt dizolvați. După aceea, un absorbant separă apa de fluxul de gaz de evacuare.