Principiu de funcționare
Componenta de bază a pompelor de vid cu difuzie este o unitate de pompă cilindrică, a cărei parte posterioară poate fi încălzită. Ca fluid este folosit uleiul, care este încălzit. Vaporii proveniți din acest ulei urcă și sunt absorbiți în sistemul de duze. Apoi trec prin mai multe trepte ale jetului de vapori, ieșind din acest sistem la înaltă presiune.
Moleculele din gazul de proces sunt captate de aceste jeturi de vapori și sunt transportate printr-o mișcare descendentă, înspre evacuarea pompei suport. Vaporii de ulei condensează pe suprafața interioară a unității de pompă cu vid răcite cu apă, fiind redirecționați înspre partea de jos.