reducerea gazelor prin epuratorul umed pentru procese de creștere epitaxială (EPI)
Fiabil
Concepute special pentru procese de creștere epitaxială (EPI) solicitante, unitate venturi puternică, dispozitiv anti-colmatare brevetat la admisia gazului, nu este necesară captarea produșilor secundari înainte de reducere (purjor de condens)
Întreținere minimă
Intervale de service extinse, durată de funcționare îndelungată, service facil, rutină de service rapidă, nu este necesară demontarea
Eficient
Tehnologie verificată a epuratorului umed, costuri de operare reduse, sistem încorporat de recirculare a apei, operare facilă prin intermediul PLC-ului cu ecran tactil color