nowa generacja suchych pomp próżniowych do wymagających zastosowań
Wysoka wydajność
Zaawansowana konstrukcja śruby, znakomita płynność pracy, zintegrowane wspomaganie próżniowe, doskonałe dostosowanie do chemicznego osadzania z fazy gazowej, szybkiego przetwarzania termicznego lub osadzania warstw atomowych
Wydajność
Niski koszt posiadania, minimalne wymagania w zakresie konserwacji, długie odstępy międzyserwisowe, wysoki czas pracy, wydajne pośrednie chłodzenie wodą
Kompaktowość
Dopasowana konstrukcja, bezpośrednio zamontowany silnik zespolony, pompa wspomagająca i wspomaganie próżniowe połączone na kompaktowej ramie podstawy
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
Produkcja płaskich wyświetlaczy panelowych
-
Komory typu load-lock
Zastosowania związane z półprzewodnikami
-
ALD
Branża energetyki słonecznej
-
Produkcja ogniw
Akcesoria
- Wersja do procesów proszkowych jako opcja