Update uw browser.

Het lijkt erop dat u een oude versie van Microsoft Edge gebruikt. Update uw browser voor de beste ervaring met de Busch website.

Productie van halfgeleiders met vacuüm

semicon_stage_foto

Busch vacuümpompen worden gebruikt bij toonaangevende halfgeleiderfabrieken en staan bekend om hun betrouwbaarheid. Het resultaat van vele jaren luisteren naar de behoeften van onze partners in de halfgeleiderbranche en hun procesvereisten.

Wij begeleiden u bij het vinden van de perfecte oplossing voor uw procesvereisten.

Halfgeleiderservices

  • arpqp_headerimage_1920x720px_72dpi_rgb
    ARPQP

    De nieuwe revisieservice voor vacuümpompen van Busch. Speciaal voor de markt van halfgeleiders en flatscreens.

    Meer informatie
  • webcontent_882_stage_767x511px
    Volledig subfab-beheer

    Holistische serviceoplossing op locatie voor een veilige en stabiele productieomgeving in uw halfgeleiderfabriek.

    Meer informatie
  • arpqp_success_story
    Semiconductor service locations

    Find your semiconductor service location.

    Learn more

ONZE OPLOSSINGEN VOOR DE PRODUCTIE VAN HALFGELEIDERS

Vacuümoplossingen van Busch zijn de vertrouwde keuze voor alle halfgeleidertoepassingen. Waarbij hoge betrouwbaarheid, lage gebruikskosten en communicatie met slimme halfgeleidertools een absolute must zijn. Van load-lock-kamers tot de zwaarste deeltjesgenererende processen. Wij hebben onze vacuümsystemen geleverd aan toonaangevende fabrikanten van halfgeleiders wereldwijd. En met single-source ondersteuning op locatie nadien.
COBRA TORRI VACTEST TAPIR
Licht (load-lock- en transferkamers, metrologie, lithografie)
Middelzwaar (PVD-processen, PVD-voorreiniging, RTA, strippen/ashen, oxide-etsen, siliciumetsen)
Zwaar (metaaletsen, implantaatbron, HDP, CVD, RTP, epitaxie, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)

Case study’s

  • Uitzonderlijke betrouwbaarheid ALD-coating door nieuwste schroefvacuümtechnologie

    Uitzonderlijke betrouwbaarheid ALD-coating door nieuwste schroefvacuümtechnologie

    Inficon AG

    Meer informatie

HULP NODIG BIJ HET VINDEN VAN DE JUISTE OPLOSSING?