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TORRI

多段ルーツ真空ポンプ

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TORRI多段ルーツ式真空ポンプは、ロードロックチャンバーの排気向けのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。

優れた到達真空度とクラス最高レベルの排気速度が特徴です。

動作原理

TORRI BD真空ポンプは、定評のあるルーツ式原理によって動作します。ローターの回転により吸引されたガスが捕捉され、ステージからステージへ運ばれ、最終的には排気口へ至ります。

ローターの特殊形状と精巧な作りにより、ローター同士、あるいはローターとハウジングが接触することはありません。さらに、圧縮チャンバー内に潤滑剤や作動流体は不要です。

ローターは、水冷式の同期モーター直結式です。

TORRI BD

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ロードロックチャンバー向けのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューション

  • 低振動かつ低騒音
  • 軽量
  • 小型
  • ドライかつ非接触式の動作原理
  • 長い耐用年数
  • 低い総所有コスト

TORRI BDシリーズのメリット

TORRI BDは、市場で最小、最軽量、そして最もエネルギー効率の高い多段ルーツ方式のドライ真空ポンプの1つです。そのためこの製品は、ロードロックチャンバーの排気に最適なソリューションとなっています。

定評ある動作原理により、優れた到達真空度を達成します。同等クラス最高レベルのチャンバー排気速度で、平均サイクルタイムを短縮します。

完全にオープンな通信プロトコル(Modbus RTU)のため、標準的なインターフェイスコンポーネントを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。

オプションのLCDコントローラーで、ポンプのステータスを簡単にモニタリングすることができます。モーター温度、モーター電流、冷却水流量、ポンプ本体温度などの関連するすべてのパラメーターを表示できます。

TORRI BDのすべての製品

  • TORRI BD 0100–0600 A
    TORRI BD 0100–0600 A

    到達真空度:
    0.01 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 100.0 m³/h max. 600.0 m³/h

    詳細情報