TORRI
多段ルーツ真空ポンプ
TORRI多段ルーツ式真空ポンプは、ロードロックチャンバーの排気向けのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。
優れた到達真空度とクラス最高レベルの排気速度が特徴です。
動作原理
TORRI BD真空ポンプは、定評のあるルーツ式原理によって動作します。ローターの回転により吸引されたガスが捕捉され、ステージからステージへ運ばれ、最終的には排気口へ至ります。ローターの特殊形状と精巧な作りにより、ローター同士、あるいはローターとハウジングが接触することはありません。さらに、圧縮チャンバー内に潤滑剤や作動流体は不要です。
ローターは、水冷式の同期モーター直結式です。
TORRI BD
ロードロックチャンバー向けのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューション
- 低振動かつ低騒音
- 軽量
- 小型
- ドライかつ非接触式の動作原理
- 長い耐用年数
- 低い総所有コスト
TORRI BDシリーズのメリット
TORRI BDは、市場で最小、最軽量、そして最もエネルギー効率の高い多段ルーツ方式のドライ真空ポンプの1つです。そのためこの製品は、ロードロックチャンバーの排気に最適なソリューションとなっています。
定評ある動作原理により、優れた到達真空度を達成します。同等クラス最高レベルのチャンバー排気速度で、平均サイクルタイムを短縮します。
完全にオープンな通信プロトコル（Modbus RTU）のため、標準的なインターフェイスコンポーネントを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。
オプションのLCDコントローラーで、ポンプのステータスを簡単にモニタリングすることができます。モーター温度、モーター電流、冷却水流量、ポンプ本体温度などの関連するすべてのパラメーターを表示できます。
