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TORRI BD – ロードロックチャンバーのためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューション

Torri BDは、市場で最小、最軽量、そして最もエネルギー効率の高い多段ルーツ方式のドライ真空ポンプの1つです。そのためこの製品は、ロードロックチャンバーの排気に最適なソリューションとなっています。

定評ある動作原理により、優れた到達真空度を達成します。同等クラス最高レベルのチャンバー排気速度で、平均サイクルタイムを短縮します。

完全にオープンな通信プロトコル(Modbus RTU)のため、標準的なインターフェイスコンポーネントを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。

オプションのLCDコントローラーで、ポンプのステータスを簡単にモニタリングすることができます。モーター温度、モーター電流、冷却水流量、ポンプ本体温度などの関連するすべてのパラメーターを表示できます。
 

メリット一覧:

  • 低振動かつ低騒音
  • 軽量
  • 小型
  • ドライ式および非接触式の動作原理
  • 長い耐用年数
  • 低い総所有コスト

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下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4000 連絡先

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