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PANDA WV 1500 / 4500 B/C

  • 高効率性:
    最小限の運用コスト
  • 高信頼性:
    気密性が高く堅牢な構造、さまざ まな運転条件下での信頼性、微粒 子に対する耐性を備えた堅固なロ ーターデザイン、バリアガス接続
  • 卓越した性能:
    バイパスバルブも備え、効率的に 高い排気速度を実現
  • サービスのしやすさ:
    最小限のメンテナンス
     

高い排気速度と最大圧力により、Panda WV メカニカルブースターポンプは、真空ポンプ の性能を高めます。Panda WVメカニカルブ ースターポンプにはさまざまなサイズが用意 されており、バックポンプの性能を大幅に高 めたい場合やプロセスに最適なサイズ選定 をしたい場合に、低真空から中真空の領域 でフレキシブルに構成することが可能です。

Panda WVは、あらゆるタイプのバックポン プに適応するメカニカルブースターポンプ です。バックポンプとメカニカルブースター ポンプの組み合わせを利用すると、真空シ ステムの排気速度と到達真空度を最高で 10倍にまで高めることができます。結果と して、通常なら大量のバックポンプを用いる ことでしか達成できない排気性能を、この 組み合わせで実現することができます。

バイパスバルブが内蔵されているため、 Panda WVメカニカルブースターポンプは、 低真空用途においても高い排気速度を達 成できます。高負荷への耐性にも優れ、 大気圧下でも特別な措置をせずにバック ポンプと合わせてPanda WVを起動するこ とができます。プロセスに由来するガス 流量の増加で圧力が急激に上昇した場合 も、バイパスバルブが難なく制御し、稼働に 影響することはありません。

また、当社では各種アダプターを取り揃え ており、Panda WZメカニカルブースター ポンプをシステムの適所にフランジ留めす ることもできます。


Panda –性能の最適化を 経済的に実現

Panda –性能の最適化を 経済的に実現

お問い合わせ
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4000 連絡先

技術仕様

技術仕様
Panda WVメカニカルブースターポンプの ハウジング内では、2本のローターが同期 回転しています。ローターの特殊形状と精 巧な作りにより、ローター同士、あるいはロ ーターとハウジングが接触することはあり ません。したがって、プロセスチャンバー内 に潤滑剤や作動流体は不要です。2本のロ ーターは、プロセスチャンバーから切り離さ れた一対のギアによって駆動します。標準装 備となっている一体型バイパスバルブによ って、大気圧付近、あるいは低真空下でも 特別な制御をせず運転することが可能で す。Buschのメカニカルブースターポンプは 直結式のIE3モーターで駆動されます。

外形図 PANDA WV 1500 - 4500 B/C
PANDA WV 1500 - 4500 B/C
排気速度

20 °C空気の場合 誤差: ± 10%

50 Hz 60 Hz
排気速度
テクニカルデータ PANDA WV 1500 C PANDA WV 4500 B
設計排気速度 1500 m³/h 4500 m³/h
排気速度 1400 m³/h* 4100 m³/h**
最大差圧 43 hPa (mbar) 25 (60) hPa (mbar)***
定格モーター出力 4.3 kW 11.0 kW
定格モーター回転数 3000 min-1 3000 min-1
質量 270 kg 690 kg
外形寸法(L x W x H) 1068 x 432 x 516 mm 1443 x 690 x 510 mm
ガスインレット/アウトレット DN 160 ISO / DN 100 ISO DN 250 ISO / DN 160 ISO
* COBRA NC 0630をバックポンプとして使用 ** COBRA NC 2500をバックポンプとして使用 *** プロセス評価後に利用可能なオプション

技術仕様

技術仕様
Panda WVメカニカルブースターポンプの ハウジング内では、2本のローターが同期 回転しています。ローターの特殊形状と精 巧な作りにより、ローター同士、あるいはロ ーターとハウジングが接触することはあり ません。したがって、プロセスチャンバー内 に潤滑剤や作動流体は不要です。2本のロ ーターは、プロセスチャンバーから切り離さ れた一対のギアによって駆動します。標準装 備となっている一体型バイパスバルブによ って、大気圧付近、あるいは低真空下でも 特別な制御をせず運転することが可能で す。Buschのメカニカルブースターポンプは 直結式のIE3モーターで駆動されます。

外形図
PANDA WV 1500 - 4500 B/C
PANDA WV 1500 - 4500 B/C
排気速度

20 °C空気の場合 誤差: ± 10%

50 Hz
60 Hz
排気速度
テクニカルデータ PANDA WV 1500 C PANDA WV 4500 B
設計排気速度 1500 m³/h 4500 m³/h
排気速度 1400 m³/h* 4100 m³/h**
最大差圧 43 hPa (mbar) 25 (60) hPa (mbar)***
定格モーター出力 4.3 kW 11.0 kW
定格モーター回転数 3000 min-1 3000 min-1
質量 270 kg 690 kg
外形寸法(L x W x H) 1068 x 432 x 516 mm 1443 x 690 x 510 mm
ガスインレット/アウトレット DN 160 ISO / DN 100 ISO DN 250 ISO / DN 160 ISO
* COBRA NC 0630をバックポンプとして使用 ** COBRA NC 2500をバックポンプとして使用 *** プロセス評価後に利用可能なオプション

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