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COBRA BC 1000 / 2000 F

  • 効率性:
    優れたコスト効率、アップタイム、エネルギー効率
  • 整備しやすさ:
    長い整備間隔 
  • 信頼性:
    動作信頼性
  • フレキシブル:
    用途重視
  • 静か:
    騒音値 ≤ 62 dB(A)
     

COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fは、定評のあるCOBRA BCシリーズのドライスクリュー式真空ポンプです。これらのポンプは、高い排気速度と優れた水素排気性能から、要求の厳しいソーラー、フラットパネル、半導体でご利用いただけます。COBRA真空ポンプは、オイルフリーの非接触式で、副生成物耐性に優れています。

COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fにはブースターポンプを標準搭載しており、高い排気速度と真空到達度を実現しています。フォアポンプとブースターポンプをコンパクトなベースフレームで組み合わせています。

COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fはアイドリングモード搭載の高効率モーターを採用した、エネルギー消費の低い製品です。

そのコンパクトな構造により省スペースで、エネルギー消費量も極めて小さいため、運用コストを最小限に抑えられます。COBRA BC真空ポンプは耐用年数も長く、総コストをさらに抑えられます。これらのスクリュー真空ポンプは、既存システムへの組み込みも容易です。

用途

  • 高密度プラズマCVD(HDP CVD)
  • 急速熱処理(RTP)
  • 準大気圧CVD(SACVD)
  • 有機金属CVD(MOCVD)
  • プラズマCVD(PECVD)
  • 低圧CVD(LPCVD)
  • 原子層堆積(ALD)
  • ロードロック

COBRA – 大容量高負荷プロセス に対応する真空ポンプの進化形。

COBRA – 大容量高負荷プロセス に対応する真空ポンプの進化形。

お問い合わせ
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4000 連絡先

技術仕様

技術仕様
COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 F は、1段階のツインシャフトスクリュー 真空ポンプです。2本のスクリューロー ターがシリンダー内で回転し、吸引し たガスを捕捉して圧縮し、排気口に移 送します。圧縮プロセス中にスクリュ ーローターが互いに接触したり、シリ ンダーと接触したりすることがないた め、圧縮チャンバー内に潤滑油や水は 不要です。

最先端のスクリュー設計により電力消 費量を大幅に削減し、また圧縮中にガ スが高温になるのを防ぎます。最新の スクリュー技術は、水素吸引における 排気速度の向上も可能にしています。 スクリュー真空ポンプとメカニカルブ ースターを組み合わせ、コンパクトな ユニット構成となっています。

効率的な間接水冷方式により、真空ポ ンプ内の温度分布が均一となるため、 プロセス全体を通じて熱的安定性が 保たれます。

COBRA BCスクリュー真空ポンプは、腐 食性ガスおよびベーパーの処理用に 特殊コーティングされたバージョンも ご用意しております。
 

 

外形図 COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
排気速度

20℃空気の場合。誤差:± 10%

50 Hz 60 Hz
排気速度
テクニカルデータ COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
設計排気速度 930 m³/h 1580 m³/h
到達真空度 0.003 hPa (mbar) 0.003 hPa (mbar)
定格モーター出力 フォアポンプ 1.5 kW 2.9 kW
定格モーター出力 メカニカルブースターポンプ 2.9 kW 4.0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2.1 / 1.5 kW 3.0 / 1.9 kW
騒音値(ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
冷却水流量 3.0 l/min 3.0 l/min
窒素流量 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
質量 310 kg 360 kg
外形寸法(L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
ガスインレット/アウトレット DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
すべての性能データは、14.7 PSIA、70°Fの周辺条件に基づいており、公差は±10%です。    

技術仕様

技術仕様
COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 F は、1段階のツインシャフトスクリュー 真空ポンプです。2本のスクリューロー ターがシリンダー内で回転し、吸引し たガスを捕捉して圧縮し、排気口に移 送します。圧縮プロセス中にスクリュ ーローターが互いに接触したり、シリ ンダーと接触したりすることがないた め、圧縮チャンバー内に潤滑油や水は 不要です。

最先端のスクリュー設計により電力消 費量を大幅に削減し、また圧縮中にガ スが高温になるのを防ぎます。最新の スクリュー技術は、水素吸引における 排気速度の向上も可能にしています。 スクリュー真空ポンプとメカニカルブ ースターを組み合わせ、コンパクトな ユニット構成となっています。

効率的な間接水冷方式により、真空ポ ンプ内の温度分布が均一となるため、 プロセス全体を通じて熱的安定性が 保たれます。

COBRA BCスクリュー真空ポンプは、腐 食性ガスおよびベーパーの処理用に 特殊コーティングされたバージョンも ご用意しております。
 

 

外形図
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
排気速度

20℃空気の場合。誤差:± 10%

50 Hz
60 Hz
排気速度
テクニカルデータ COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
設計排気速度 930 m³/h 1580 m³/h
到達真空度 0.003 hPa (mbar) 0.003 hPa (mbar)
定格モーター出力 フォアポンプ 1.5 kW 2.9 kW
定格モーター出力 メカニカルブースターポンプ 2.9 kW 4.0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2.1 / 1.5 kW 3.0 / 1.9 kW
騒音値(ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
冷却水流量 3.0 l/min 3.0 l/min
窒素流量 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
質量 310 kg 360 kg
外形寸法(L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
ガスインレット/アウトレット DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
すべての性能データは、14.7 PSIA、70°Fの周辺条件に基づいており、公差は±10%です。    

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