Principio operativo
Il componente di base delle pompe per vuoto a diffusione è un'unità della generazione di vuoto cilindrica con un fondo riscaldabile. Come fluido viene usato l'olio riscaldato. Il vapore di questo olio sale nel sistema di ugelli, quindi attraversa varie fasi del getto di vapore ed esce dal sistema ad alta pressione.
Le molecole nel gas di processo vengono catturate da questi getti di vapore e trasportate verso il basso in direzione dell'uscita della pompa per vuoto iniziale. Il vapore di olio si condensa sulla superficie interna della pompa raffreddata ad acqua e viene rinviato verso il fondo.