La nuova generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicate per compartimenti di carico ad alta capacità e processi di rivestimento
Efficienza
Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, efficiente raffreddamento ad acqua, elevata resa di solvente
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto, design modulare
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Produzione di schermi piatti
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
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Diodo organico a emissione di luce (OLED)
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Camere di carico
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
Metallurgia
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Rivestimento