La nuova generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicate per la deposizione chimica in fase di vapore, la lavorazione termica rapida o la deposizione di strati atomici
Efficienti
Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, raffreddamento ad acqua indiretto efficiente
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Produzione di schermi piatti
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Camere di carico
Applicazioni semiconduttori
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ALD
Settore dell'energia solare
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Produzione di celle
Accessori
- Versione opzionale con processo a polvere disponibile