COBRA DS 2141 A
Pompa per vuoto a vite a secco
La nuova generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti
Prestazioni elevate
Progettazione avanzata della vite, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, eccellenti capacità di manipolazione della polvere, particolarmente indicata per applicazioni nel campo dei semiconduttori, della produzione di schermi piatti e dell'energia solare
Efficienza
Bassi costi di proprietà, minime attività di manutenzione, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, efficiente raffreddamento ad acqua indiretto, elevata portata di idrogeno, controllo della temperatura variabile, basso livello di vibrazioni
Compattezza
Design integrato, motore a rotore immerso montato direttamente, pannello di controllo integrato, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su telaio compatto
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
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Aggiornamento: assorbimento a pressione oscillante
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
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Camere di carico
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Diodo organico a emissione di luce (OLED)
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
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Medie
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Gravose
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Leggere
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
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Laminazione
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Colaggio in lingottiera
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Camere di carico
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)