COBRA DS 1200/1800 A/A X
Pompe per vuoto a vite a secco
La nuova generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicate per applicazioni nel campo dell'energia solare, degli schermi piatti e dei semiconduttori e per processi gravosi con temperature dei gas elevate, come incisione e deposizione chimica da fase vapore, eccellente gestione della polvere, vite rivestita di tantalio per applicazioni gravose
Efficienza
Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, elevata resa di idrogeno, basso consumo di energia, controllo della temperatura variabile
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto, basso livello di vibrazioni
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
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Aggiornamento: assorbimento a pressione oscillante
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
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Camere di carico
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Diodo organico a emissione di luce (OLED)
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
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Degassaggio
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Medie
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Gravose
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Leggere
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)