COBRA DS 0700–2000 G
Pompe per vuoto a vite a secco
La nuova generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicate per la deposizione chimica in fase di vapore, la lavorazione termica rapida o la deposizione di strati atomici
Efficienza
Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, efficiente raffreddamento ad acqua indiretto, elevata resa di idrogeno
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
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Aggiornamento: assorbimento a pressione oscillante
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
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Camere di carico
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Diodo organico a emissione di luce (OLED)
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
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Degassaggio
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Medie
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Gravose
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Leggere
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)