COBRA BC 0601–1200 A/G
Pompe per vuoto a vite a secco
La soluzione ideale per applicazioni per semiconduttori da leggere a medie
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, struttura a forma di campana, viti brevettate con bilanciamento automatico, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicata per processi di deposizione di strati atomici a freddo, compartimenti di carico e camere di trasferimento, metrologia, litografia, deposizione fisica in fase di vapore e ricottura termica rapida e processi di incisione come ossido, silicio e metallo
Efficienti
Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, raffreddamento ad acqua diretto
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
-
Aggiornamento: assorbimento a pressione oscillante
-
Medie
-
Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)