Principe de fonctionnement
Le composant de base des pompes à vide à diffusion est une unité de pompage cylindrique équipée d'une partie inférieure chauffable. L'huile, utilisée comme fluide, est chauffée. La vapeur d'huile s'élève dans le système de gicleur. Elle passe ensuite à travers plusieurs étages de jet de vapeur et s'échappe du système sous haute pression.
Les molécules du gaz de procédé sont piégées par ces jets de vapeur et sont transportées vers la sortie de la pompe primaire. La vapeur d'huile condense sur la surface intérieure du groupe de pompage refroidi par eau et redescend.
