COBRA DS 8162/8163 B/F
Pompes à vide sèches à vis
La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les procédés exigeants
Haute performance
Concept de vis perfectionné, excellentes qualités de fonctionnement, pompe booster intégrée, parfaitement adaptée aux sas grande capacité et aux procédés de revêtement
Efficace
Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement par eau efficace, débit de solvant élevé
Compacte
Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, pompe primaire et pompe booster combinées sur un cadre de base compact, conception modulaire
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Manutention du biogaz
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Amélioration : adsorption par inversion de pression
Fabrication d'écrans plats
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Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
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Sas de chargement
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Diode électroluminescente organique (OLED)
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Fabrication de batteries lithium-ion
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Dégazage
Fabrication de semi-conducteurs
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Moyenne
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Légère