COBRA DS 5161–9161 B/F
Pompes à vide sèches à vis
La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les procédés exigeants
Haute performance
Concept de vis perfectionné, excellentes qualités de fonctionnement, booster de vide intégré, parfaitement adaptée au dépôt chimique en phase vapeur, au recuit thermique rapide ou au dépôt par couche atomique
Efficace
Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement indirect par eau efficace, débit d'hydrogène élevé
Compacte
Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Manutention du biogaz
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Amélioration : adsorption par inversion de pression
Fabrication d'écrans plats
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Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
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Sas de chargement
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Diode électroluminescente organique (OLED)
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Fabrication de batteries lithium-ion
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Dégazage
Fabrication de semi-conducteurs
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Moyenne
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Lourde
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Légère
Industrie de l'énergie solaire
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Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)