COBRA DS 2141 A
Pompe à vide sèche à vis
La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les procédés exigeants
Haute performance
Concept de vis perfectionné, excellentes qualités de fonctionnement, booster de vide intégré, excellentes capacités de manutention des poudres, parfaitement adapté aux applications de semi-conducteurs, à la production d'écrans plats et aux applications en lien avec l'énergie solaire
Efficace
Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement indirect par eau efficace, débit d'hydrogène élevé, contrôle de température variable, faible niveau de vibration
Compacte
Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, panneau de commande intégré, pompe primaire et pompe booster combinées sur un châssis compact
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
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Amélioration : adsorption par inversion de pression
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Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
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Sas de chargement
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Diode électroluminescente organique (OLED)
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
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Moyenne
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Lourde
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Légère
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
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Lamination
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Coulage de lingots
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Sas de chargement
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Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)