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COBRA DS 2141 A

Pompe à vide sèche à vis

La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les procédés exigeants

Haute performance

Concept de vis perfectionné, excellentes qualités de fonctionnement, booster de vide intégré, excellente manutention des poudres, parfaitement adapté aux applications de semi-conducteurs, à la production d'écrans plats et aux applications en lien avec l'énergie solaire

Efficace

Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement indirect par eau efficace, débit d'hydrogène élevé, contrôle de température variable, faible niveau de vibration

Compacte

Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, panneau de commande intégré, pompe primaire et pompe booster combinées sur un châssis compact

Caractéristiques techniques

Marchés et applications

Fabrication d'écrans plats
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Sas de chargement
  • Diode électroluminescente organique (OLED)
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Fabrication de semi-conducteurs
  • Moyenne
  • Lourde
  • Légère
Industrie de l'énergie solaire
  • Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
  • Lamination
  • Coulage de lingots
  • Sas de chargement
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)