COBRA Semicon

COBRA BA são bombas de vácuo de parafuso a seco comprovadas e ideais para processos exigentes como esterilização, metalurgia, recuperação de gás ou aplicações de forno.

O design dos parafusos de autobalanceamento patenteados garante os menores níveis de vibração e operação silenciosa.

As bombas de vácuo COBRA BA contam com uma construção em cantiléver em forma de sino: o rotor duplo com parafusos de passo variável é montado apenas no lado do motor. Graças ao design exclusivo de “rolamento flutuante”, os rolamentos de entrada são desnecessários. Assim, o meio bombeado não entra em contato com os rolamentos. Isso garante a geração limpa de vácuo e permite a recuperação total do meio bombeado.

As bombas de vácuo COBRA BA são caracterizadas por uma refrigeração a ar eficiente.

Um motor blindado, montado diretamente permite que as dimensões da série COBRA BA sejam muito compactas.

As bombas de vácuo COBRA BC são ideais para tarefas em load lock e câmaras de transferência. Outras aplicações incluem a metrologia, litografia, deposição física de vapor (PVD), anelamento térmico rápido (RTA) e corrosão de silício.

O design dos parafusos de autobalanceamento patenteados garante os menores níveis de vibração e operação silenciosa.

Os parafusos das bombas de vácuo COBRA BC são fabricados a partir da fundição de peça única evitando qualquer tipo de espaço. Isso torna impossível a entrada de fluidos de processo ou partículas. Desse modo, a corrosão e a deposição são evitadas.

As bombas de vácuo COBRA BC contam com uma construção em cantiléver em forma de sino: o rotor duplo com parafusos de passo variável é montado apenas no lado do motor. Graças ao design exclusivo de “rolamento flutuante”, os rolamentos de entrada são desnecessários. Assim, o meio bombeado não entra em contato com os rolamentos. Isso garante a geração limpa de vácuo e permite a recuperação total do meio bombeado.

As bombas de vácuo da série COBRA BC usam refrigeração a água direta eficiente. Assim, é mantida uma distribuição de temperatura uniforme pelo corpo da bomba. Além disso, é garantida também a estabilidade térmica durante o processo.

O protocolo de comunicação totalmente aberto (Modbus TCP-IP) permite que você controle todos os recursos. Isso inclui os modos de inatividade e o acionamento variável de velocidade. O protocolo de comunicação pode ser facilmente adaptado a um protocolo de rede específico, usando componentes de interface padrão.

Um motor blindado, montado diretamente permite que as dimensões da série COBRA BC sejam muito compactas. Devido ao seu design de perfeito encaixe, elas podem ser instaladas em sistemas existentes de forma rápida e fácil.

As bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA DS são os geradores de vácuo ideais para processos exigentes. Mesmo sob condições em que um alto rendimento de hidrogênio é exigido. Por isso, elas são perfeitas para a deposição química de vapor, processamento térmico rápido ou deposição de camada atômica.

Vários tamanhos da série COBRA DS contam com um acelerador de vácuo integrado de alto desempenho. Esta combinação de bomba de apoio e acelerador de vácuo permite que sejam atingidas velocidades de bombeamento e pressões finais mais altas.

O design de parafusos de autobalanceamento patenteados garante um excelente manuseio de pó e alta disponibilidade.

Os parafusos das bombas de vácuo COBRA DS são fabricados a partir da fundição de peça única evitando qualquer tipo de espaço. Isso torna impossível a entrada de fluidos de processo ou partículas. Desse modo, a corrosão e a deposição são evitadas.

As bombas de vácuo da série COBRA DS usam refrigeração a água indireta e eficiente. Como resultado, a distribuição de temperatura pelo corpo da bomba pode ser controlada. Uma resposta a variações do processo é possível a qualquer momento.

Devido ao design de encaixe perfeito, a COBRA DS pode ser instalada posteriormente em sistemas existentes de maneira rápida e fácil.