Atualize o seu navegador.

Parece que você está usando uma versão antiga do navegador Microsoft Edge. Atualize o seu navegador para obter a melhor experiência com o website da Busch.

COBRA Semicon

Bombas de vácuo de parafuso a seco

cobra_bc_1000_f

As bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA Semicon são a escolha ideal para todos os processos exigentes na produção de células fotovoltaicas, telas planas, semicondutores e em inúmeras aplicações industriais de revestimento.

O princípio de operação da COBRA Semicon é baseado na tecnologia de ponta de parafuso. Com seus parafusos de autobalanceamento patenteados, elas estão estabelecendo novos padrões em termos de eficiência.

A COBRA Semicon combina grandes rendimentos com uma alta tolerância de vapor e partícula. Desse modo, meios carregados com partículas podem ser evacuados sem problemas.

O princípio de operação sem óleo e sem contato garante baixas exigências em manutenção, baixos custos operacionais e um longo ciclo de vida.

As dimensões compactas da COBRA Semicon facilitam a instalação – mesmo em espaços confinados.

Princípio de operação

Dentro das bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA Semicon, dois rotores em formato de parafuso rotacionam em direções opostas. O meio bombeado é retido entre o cilindro e as câmaras dos parafusos. Lá ele é comprimido e transportado para a saída. Durante este processo, os rotores em formato de parafuso não entram em contato um com o outro ou com o cilindro.

Descubra a nossa série COBRA Semicon

  • cobra_ba_0100_c
    COBRA BA

    A solução Plug&Pump refrigerada a ar

    Saiba mais
  • cobra_bc_1000_f_1
    COBRA BC

    A solução ideal para aplicações leves a médias de semicondutor

    Saiba mais
  • cobra_ds_1200_a
    COBRA DS

    A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes

    Saiba mais

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
A solução Plug&Pump refrigerada a ar

  • Design avançado do parafuso
  • Princípio de operação a seco e sem contato
  • Design de “rolamento flutuante” exclusivo
  • Construção em cantiléver
  • Design compacto
  • Refrigeração a ar eficiente
  • Conversor de frequência opcional

Vantagens da série COBRA BA

COBRA BA são bombas de vácuo de parafuso a seco comprovadas e ideais para processos exigentes como esterilização, metalurgia, recuperação de gás ou aplicações de forno.

O design dos parafusos de autobalanceamento patenteados garante os menores níveis de vibração e operação silenciosa.

As bombas de vácuo COBRA BA contam com uma construção em cantiléver em forma de sino: o rotor duplo com parafusos de passo variável é montado apenas no lado do motor. Graças ao design exclusivo de “rolamento flutuante”, os rolamentos de entrada são desnecessários. Assim, o meio bombeado não entra em contato com os rolamentos. Isso garante a geração limpa de vácuo e permite a recuperação total do meio bombeado.

As bombas de vácuo COBRA BA são caracterizadas por uma refrigeração a ar eficiente.

Um motor blindado, montado diretamente permite que as dimensões da série COBRA BA sejam muito compactas.

Todos os produtos COBRA BA

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    85 m³/h

    Saiba mais

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
A solução ideal para aplicações leves a médias de semicondutor

  • Design avançado do parafuso
  • Princípio de operação a seco e sem contato
  • Design de “rolamento flutuante” exclusivo
  • Construção em cantiléver
  • Design compacto de perfeito encaixe
  • Refrigeração a água direta
  • Protocolo de comunicação totalmente aberto

Vídeo: Funcionamento das bombas de vácuo COBRA BC

thumbnail_cobra_bc_series

Os cookies devem ser aceitos para assistir a este vídeo.

Accept marketing-cookies

Vantagens da série COBRA BC

As bombas de vácuo COBRA BC são ideais para tarefas em load lock e câmaras de transferência. Outras aplicações incluem a metrologia, litografia, deposição física de vapor (PVD), anelamento térmico rápido (RTA) e corrosão de silício.

O design dos parafusos de autobalanceamento patenteados garante os menores níveis de vibração e operação silenciosa.

Os parafusos das bombas de vácuo COBRA BC são fabricados a partir da fundição de peça única evitando qualquer tipo de espaço. Isso torna impossível a entrada de fluidos de processo ou partículas. Desse modo, a corrosão e a deposição são evitadas.

As bombas de vácuo COBRA BC contam com uma construção em cantiléver em forma de sino: o rotor duplo com parafusos de passo variável é montado apenas no lado do motor. Graças ao design exclusivo de “rolamento flutuante”, os rolamentos de entrada são desnecessários. Assim, o meio bombeado não entra em contato com os rolamentos. Isso garante a geração limpa de vácuo e permite a recuperação total do meio bombeado.

As bombas de vácuo da série COBRA BC usam refrigeração a água direta eficiente. Assim, é mantida uma distribuição de temperatura uniforme pelo corpo da bomba. Além disso, é garantida também a estabilidade térmica durante o processo.

O protocolo de comunicação totalmente aberto (Modbus TCP-IP) permite que você controle todos os recursos. Isso inclui os modos de inatividade e o acionamento variável de velocidade. O protocolo de comunicação pode ser facilmente adaptado a um protocolo de rede específico, usando componentes de interface padrão.

Um motor blindado, montado diretamente permite que as dimensões da série COBRA BC sejam muito compactas. Devido ao seu design de perfeito encaixe, elas podem ser instaladas em sistemas existentes de forma rápida e fácil.

Todos os produtos COBRA BC

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Pressão final:
    0,005 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    100 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    520 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    530 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    955 m³/h

    Saiba mais

COBRA DS

cobra_ds_1200_a
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes

  • Design avançado do parafuso
  • Princípio de operação a seco e sem contato
  • Manuseio excelente de pó
  • Refrigeração a água indireta e eficiente
  • Design compacto de perfeito encaixe
  • Alta velocidade de bombeamento para a descarga de hidrogênio
  • Motor altamente eficiente
  • Tamanhos com acelerador de vácuo integrado disponível

Vantagens da série COBRA DS

As bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA DS são os geradores de vácuo ideais para processos exigentes. Mesmo sob condições em que um alto rendimento de hidrogênio é exigido. Por isso, elas são perfeitas para a deposição química de vapor, processamento térmico rápido ou deposição de camada atômica.

Vários tamanhos da série COBRA DS contam com um acelerador de vácuo integrado de alto desempenho. Esta combinação de bomba de apoio e acelerador de vácuo permite que sejam atingidas velocidades de bombeamento e pressões finais mais altas.

O design de parafusos de autobalanceamento patenteados garante um excelente manuseio de pó e alta disponibilidade.

Os parafusos das bombas de vácuo COBRA DS são fabricados a partir da fundição de peça única evitando qualquer tipo de espaço. Isso torna impossível a entrada de fluidos de processo ou partículas. Desse modo, a corrosão e a deposição são evitadas.

As bombas de vácuo da série COBRA DS usam refrigeração a água indireta e eficiente. Como resultado, a distribuição de temperatura pelo corpo da bomba pode ser controlada. Uma resposta a variações do processo é possível a qualquer momento.

Devido ao design de encaixe perfeito, a COBRA DS pode ser instalada posteriormente em sistemas existentes de maneira rápida e fácil.

Todos os produtos COBRA DS

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Pressão final:
    0,03 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    600 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA DS 1200/1800 A/A H
    COBRA DS 1200/1800 A/A H

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 1200 m³/h max. 1700 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA DS 2610–3161 B/E/F
    COBRA DS 2610–3161 B/E/F

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 1830 m³/h max. 3200 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA DS 3181 B
    COBRA DS 3181 B

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    3500 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    Saiba mais
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacidade nominal de bombeamento:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    Saiba mais