Fabricação de semicondutores com vácuo

As bombas de vácuo da Busch são operadas nas principais fábricas de semicondutores, sendo reconhecidas por sua confiabilidade. O resultado de muitos anos escutando as necessidades de nossos parceiros na área de semicondutores e seus requisitos de processo.

Nós podemos orientar você para encontrar a solução perfeita para os requisitos do seu processo.

Serviços de semicondutores

ARPQP
O novo serviço de remanufatura de bombas de vácuo da Busch. Especialmente para o mercado de semicondutores e de telas planas.
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Gestão completa de fábricas de semicondutores
Solução de serviço holístico no local para um ambiente de produção seguro e estável na sua fábrica de semicondutores.
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Semiconductor service locations
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NOSSAS SOLUÇÕES PARA A FABRICAÇÃO DE SEMICONDUTORES

As soluções de vácuo da Busch são a escolha confiável para todas as aplicações de semicondutores onde alta confiabilidade, baixo custo de propriedade e comunicação inteligente entre ferramentas de semicondutores são uma necessidade absoluta. De câmaras de load lock aos processos de geração de partículas mais pesados. Fornecemos sistemas de vácuo para as principais fábricas de semicondutores do mundo. E com suporte a partir de uma única fonte no local posteriormente.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Leve (câmaras de load lock e transferência, metrologia, litografia)	✓	✓	✓	✓
Médio (processos PVD, pré-limpeza PVD, RTA, decapagem/incineração, ataque metalográfico de óxido, ataque metalográfico de silício)	✓		✓	✓
Pesado (ataque metalográfico de metal, fonte de implantação, HDP, CVD, RTP, epitaxia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓