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Fabricação de semicondutores com vácuo

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As bombas de vácuo da Busch são operadas nas principais fábricas de semicondutores, sendo reconhecidas por sua confiabilidade. O resultado de muitos anos escutando as necessidades de nossos parceiros na área de semicondutores e seus requisitos de processo.

Nós podemos orientar você para encontrar a solução perfeita para os requisitos do seu processo.

O que você está procurando?

Encontre sua solução de serviço de semicondutores com o Busch Group

O Busch Group, líder global em tecnologia de vácuo, une duas marcas especializadas: Busch Vacuum Solutions e Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Juntas, elas oferecem um portfólio abrangente de soluções de vácuo e serviços sob medida para a indústria de semicondutores.

A Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions traz experiência especializada nas faixas de vácuo alto e ultra-alto e na detecção de vazamentos, especialmente para aplicações de semicondutores. Com sua posição de longa data na indústria de semicondutores, a Pfeiffer fornecerá a melhor experiência de serviço possível. Seja na remanufatura de bombas de vácuo ou na gestão completa de fábricas de semicondutores, a Pfeiffer garante que seus processos de semicondutores estão em boas mãos.

Serviços de semicondutores

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Nossas Soluções Para a Fabricação de Semicondutores

As soluções de vácuo da Busch são a escolha confiável para todas as aplicações de semicondutores onde alta confiabilidade, baixo custo de propriedade e comunicação inteligente entre ferramentas de semicondutores são uma necessidade absoluta. De câmaras de load lock aos processos de geração de partículas mais pesados. Fornecemos sistemas de vácuo para as principais fábricas de semicondutores do mundo. E com suporte a partir de uma única fonte no local posteriormente.
VACTEST
Leve (câmaras de load lock e transferência, metrologia, litografia)
Médio (processos PVD, pré-limpeza PVD, RTA, decapagem/incineração, ataque metalográfico de óxido, ataque metalográfico de silício)
Pesado (ataque metalográfico de metal, fonte de implantação, HDP, CVD, RTP, epitaxia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)