COBRA BC 0601–1200 A/G
Droge schroefvacuümpompen
De ideale oplossing voor lichte tot middelzware halfgeleidertoepassingen
Uitstekende prestaties
Geavanceerd schroefontwerp, gepatenteerde zelfbalancerende schroeven, uitstekende loopprestaties, geïntegreerde vacuümbooster, uitermate geschikt voor koude atomaire laagdepositieprocessen; load-lock en transferkamers, metrologie, lithografie, PVD en snelle thermische gloei- en etsprocessen zoals oxide, siliconen en metaal
Efficiënt
Lage gebruikskosten, minimaal onderhoud, lange onderhoudsintervallen, hoge beschikbaarheid, directe waterkoeling
Compact
Compact ontwerp, direct gemonteerde canned motor, voorpomp en vacuümbooster gecombineerd op compact basisframe
Technische specificaties
Markten & toepassingen
Handling van biogas
-
Upgraden - adsorptie van drukverschillen
Productie van halfgeleiders
-
Middelzwaar
Zonne-energiebranche
-
Fysieke dampafzetting (PVD)