COBRA Semicon

COBRA BA zijn bewezen droge schroefvacuümpompen die ideaal zijn voor veeleisende processen, zoals sterilisatie, metallurgie, gasterugwinning of ovens.

Het gepatenteerde zelfbalancerende schroefontwerp verzekert een laag trillingsniveau en geluidsarme werking.

COBRA BA vacuümpompen hebben een cantilever constructie: de dubbele rotor met variabele spoed is alleen aan de motorkant gemonteerd. Dankzij het unieke “zwevende lager”-ontwerp zijn lagers aan de inlaat niet nodig. Hierdoor komt het verpompte medium niet in contact met de lagers. Dit zorgt voor een schoon vacuüm en maakt volledige terugwinning van het verpompte medium mogelijk.

COBRA BA vacuümpompen worden gekenmerkt door een efficiënte luchtkoeling.

Dankzij de direct gekoppelde, gesloten motor zijn de pompen van de COBRA BA-serie uiterst compact.

COBRA BC vacuümpompen zijn ideaal voor load-lock- en transferkamers. Verdere toepassingen zijn onder andere metrologie, lithografie, fysische dampafzetting, snel thermisch temperen en siliciumetsen.

Het gepatenteerde zelfbalancerende schroefontwerp verzekert een laag trillingsniveau en geluidsarme werking.

De schroeven van COBRA BC vacuümpompen worden uit één stuk gietwerk vervaardigd waardoor scheuren worden voorkomen. Dit maakt het binnendringen van procesvloeistoffen of deeltjes onmogelijk. Op deze manier worden corrosie en afzetting voorkomen.

COBRA BC vacuümpompen hebben een cantilever constructie: de dubbele rotor met variabele spoed is alleen aan de motorkant gemonteerd. Dankzij het unieke “zwevende lager”-ontwerp zijn lagers aan de inlaat niet nodig. Hierdoor komt het verpompte medium niet in contact met de lagers. Dit zorgt voor een schoon vacuüm en maakt volledige terugwinning van het verpompte medium mogelijk.

Vacuümpompen uit de COBRA BC-serie maken gebruik van efficiënte directe waterkoeling. Een gelijkmatige temperatuurverdeling over de pomp wordt hiermee behouden. Bovendien verzekert dit thermische stabiliteit tijdens het proces.

Het volledig open communicatieprotocol (Modbus TCP-IP) zorgt ervoor dat u alle functionaliteiten kunt beheren. Dit omvat energiebesparingsmodi en frequentieregeling. Het communicatieprotocol kan gemakkelijk worden aangepast aan een specifiek netwerkprotocol met standaard interfacecomponenten.

Dankzij de direct gekoppelde, gesloten motor zijn de pompen van de COBRA BC-serie uiterst compact. Door hun compacte ontwerp kunnen ze eenvoudig en snel worden ingebouwd in bestaande systemen.

COBRA DS droge schroefvacuümpompen zijn de ideale vacuümpompen voor veeleisende toepassingen. Zelfs onder omstandigheden waarin een hoge waterstofdoorvoer vereist is. Ze zijn hierdoor geschikt voor chemical vapor deposition, rapid thermal processing of atomic layer deposition.

De verschillende typen van de COBRA DS-serie zijn uitgerust met een ingebouwde, hoogwaardige vacuümbooster. Door deze combinatie van voorpomp en vacuümbooster kunnen hogere pompsnelheden en lagere einddrukken worden behaald.

Het gepatenteerde zelfbalancerende schroefontwerp garandeert uitstekende handling voor vaste deeltjes en een hoge standtijd.

De schroeven van COBRA DS vacuümpompen worden uit één stuk gietwerk vervaardigd waardoor scheuren worden voorkomen. Dit maakt het binnendringen van procesvloeistoffen of deeltjes onmogelijk. Op deze manier worden corrosie en afzetting voorkomen.

Vacuümpompen uit de COBRA DS-serie maken gebruik van effectieve, indirecte waterkoeling. Als gevolg hiervan kan de temperatuurverdeling in de pomp beheerst worden. Het is altijd mogelijk om te reageren op procesvariaties.

Dankzij hun compacte ontwerp kunnen COBRA DS-pompen eenvoudig en snel worden ingebouwd in bestaande systemen.