Gasreductiesystemen

GABA AWE zijn onze innovatieve natte gaswassers, die speciaal zijn ontworpen voor kritieke EPI-processen in de halfgeleiderindustrie. Ze combineren maximale operationele betrouwbaarheid met processtabiliteit van het hoogste niveau.

Onze AWE-serie is uitgerust met een gepatenteerde inlaat voor schadelijk gas, die voorkomt dat de inlaat van de wasser verstopt raakt. Dit zorgt voor een langere levensduur en tegelijkertijd lagere bedrijfskosten. Het onderhoud bestaat uit het, op gezette tijden, vervangen van de inrichting om verstopping van de inlaat te voorkomen. Dit is heel eenvoudig en de unit hoeft hiervoor niet te worden gedemonteerd.

Door het speciale ontwerp van de GABA AWE is de scheiding van bijproducten van het productieproces in een val overbodig. De natte gaswasser kan alle procesresiduen verwerken zonder de gasinlaat te blokkeren. Wateroplosbare bijproducten reageren op de wasvloeistof, vaste stoffen worden als deeltjes gescheiden of met het afvalwater weggepompt tijdens de procedure.

Het vacuüm voor het productieproces wordt geleverd en actief geregeld via een frequentiegeregelde Venturi-unit. Dit zorgt voor een constante procesdruk in de productie-installatie en voor een probleemloze werking. Alle procesinstellingen kunnen via een programmeerbare logische besturing (PLC) met kleurendisplay en touchscreen worden vastgelegd.

GABA ATW-gasreductiesystemen maken gebruik van thermisch-natte gasreductietechnologie. Dit betekent dat deze systemen de chemische eigenschappen van de procesgassen wijzigen. Door vlamloze thermische oxidatie in geval van ontvlambare en pyrofore gassen en door oplossing in water in geval van wateroplosbare gassen.

Een ATW kan temperaturen bereiken die net zo hoog zijn als die van een gaswassersysteem met een brander, maar in plaats van natuurlijk gas gebruiken ze elektrische energie. Hierdoor worden alle risico's die gepaard gaan met het gebruik van gas bij productieprocessen geëlimineerd.

Onze GABA ATW-systemen zijn ontworpen om te worden aangesloten op de algemene afzuiginrichting van de fabriek. Deze gasreductiesystemen zijn uitgerust met vier procesinlaten. Daardoor kan het systeem worden aangesloten op vier verschillende kamers van een procestool of op verschillende tools, afhankelijk van de toepassing.

Gasreductiesystemen neutraliseren van gevaarlijke gassen en luchtverontreinigende stoffen tijdens productieprocessen. Dit is nodig zodat ze op een veilige manier vrijkomen in de atmosfeer. Verschillende gassen vereisen verschillende behandelingstechnieken. Thermisch, nat of zelfs een combinatie van beide technologieën.

Dit is een proces waarbij de chemische samenstelling van schadelijke gassen en luchtverontreinigende stoffen wordt gewijzigd. Dit is nodig zodat ze in de atmosfeer vrijkomen zonder plant, dier of mens te schaden.

Vlamloos katalytisch
Dit katalysatorsysteem combineert vlamloze katalytische thermische oxidatie en natte behandelingstechnologie om ontvlambare, in water oplosbare gassen en NF₃ te reduceren. Poeders en in water oplosbare gassen die tijdens de thermische oxidatie kunnen worden gegenereerd, zullen in een stroomopwaartse meertrapse ‘wetting zone’ worden vastgehouden.

Thermisch-nat
De elektrische warmte- en natte behandelingstechnologieën zijn in één systeem gecombineerd voor het reduceren van op hybride gebaseerde gassen, zoals NH₃, SiH₄ maar ook NF₃. In de verbrandingskamer worden de chemische eigenschappen van ontvlambare en pyrofore procesgassen veranderd door thermische oxidatie. In water oplosbare gassen worden vervolgens opgelost in de stroomopwaartse ‘wetting’-kamer.

Natte gaswasser
In de vier individuele reactiekamers wordt de stroom van uitlaatgassen, vooral van epitaxieprocessen, besproeid met water. Vaste bijproducten worden afgevangen in waterdruppels en opgelost. Vervolgens scheidt een absorber het water van de uitlaatgasstroom.