Gasreductiesystemen

De halfgeleiderindustrie gebruikt gassen die giftig, ontvlambaar en zelfs schadelijk zijn voor mens en milieu. Volgens de nationale wetgeving moeten deze gassen worden gereduceerd tot onder de respectieve drempelwaarde (TLV). Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, onderdeel van de Busch Group, biedt geavanceerde gasreductietechnieken voor de behandeling van uitlaatgassen op het gebruikspunt. Voor een schonere toekomst.