久經考驗的技術,行之有效的設計 — 選擇最佳解決方案

COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency

  • 高效:
    性價比高、運行時間長、節能
  • 維護簡易:
    維護間隔長
  • 可靠:
    運行可靠
  • 靈活:
    適用各種不同應用
  • 安靜:
    噪音等級 < 58 dB(A)



COBRA BC 0101 F Premium Efficiency 是驗證過的 COBRA BC 系列產品組 合中的一款乾式螺旋式真空泵浦,處 理能力更加強大,可以為製程嚴苛的 太陽能、平板顯示器和半導體應用提 供世界一流的精巧型、高負荷和大氣 體流量Load Lock解決方案。該真空 泵浦採用獨特的螺旋式泵浦設計,具 有卓越的粉塵處理能力。

COBRA BC 0101 F Premium Efficiency 配備有高能效馬達和最世界先進的休 眠模式功能,可節省大量能耗。

由於該 COBRA 系列採用最優化的空 間設計,並具有節能潛力,因此運行 成本極低。

應用
 

  • Load Lock負荷鎖定 (有條件)
  • 傳輸應用
  • 計量量測應用
  • 光刻
  • 物理氣相沉積 (PVD)
  • 快速熱退火 (RTA)


Premium Efficiency
Busch 的全新 Premium Efficiency 級產品將尖端技術與運行特性完美結 合,並樹立起新的標杆。配備 Busch 最新 VacBoost(真空增壓)技術的 Premium Efficiency 系列產品是一種 全面綜合性的解決方案,涵蓋能耗節 能、效率、可靠性、服務及永續發展 諸多優勢因素。
 

  • 高達 40%之節能效益
  • 整合性之技術平臺,為同級類產品 中之最佳節能效率
  • 高可靠性能、低維護成本
  • Busch提供完全之備援服務
  • 降低整體生命週期之總成本
  • 較少之能源消耗以達環境永續發展

COBRA – 適用于嚴苛製程 的新一代高抽速真空泵浦

COBRA – 適用于嚴苛製程 的新一代高抽速真空泵浦

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技術說明

技術資料
The COBRA BC 0100 F Premium Efficiency 螺旋式真空泵浦採用反向旋轉的兩個 轉子,透過螺旋轉子螺桿與腔體間產 生的腔室將抽取的製程介質逐級輸送 至排氣口。此螺旋螺桿結構在最大程 度上減少了氣體介質在真空泵浦中的 停滯時間,使其具有最佳的粉塵處理 及重啟能力。

與標準螺旋式螺桿設計相比,進階螺 旋式螺桿式設計使其能耗耗能更低, 壓縮後的氣體溫度也更低。BC 系列 採用直接間接冷卻方式製冷法,可使 整個泵浦本體保持恒定溫度,從而消 除冷點,並為冷卻水夾套提供穩定的 溫度。 特有的“flying bearing” 螺旋轉子 螺桿設計解決了進氣口軸承的問題, 佔用空間更小。

製圖 COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
排氣量

空氣溫度 20°C 容許值 ±10%

50 Hz 60 Hz
排氣量
技術資料 COBRA BC 0100 F Premium Efficiency COBRA BC 0200 F Premium Efficiency
額定抽速 115 m³/h 175 m³/h
極限壓力 0.005 hPa (mbar) 0.005 hPa (mbar)
馬達額定功率 1.8 kW 2.9 kW
極限壓力/怠速模式下的功率消耗 0.55 kW 0.7 kW
馬達額定轉速 3600 min-1 4570 min-1
噪音(ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
用水量 1.0 l/min 2.0 l/min
乾壓縮空氣消耗 25 l/min* 25* l/min
重量(約) 120 kg 130 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x392 mm
進氣口/排氣口 DN 50 KF DN 50 KF
* Stickstoff kann als Alternative verwendet werden

技術說明

技術資料
The COBRA BC 0100 F Premium Efficiency 螺旋式真空泵浦採用反向旋轉的兩個 轉子,透過螺旋轉子螺桿與腔體間產 生的腔室將抽取的製程介質逐級輸送 至排氣口。此螺旋螺桿結構在最大程 度上減少了氣體介質在真空泵浦中的 停滯時間,使其具有最佳的粉塵處理 及重啟能力。

與標準螺旋式螺桿設計相比,進階螺 旋式螺桿式設計使其能耗耗能更低, 壓縮後的氣體溫度也更低。BC 系列 採用直接間接冷卻方式製冷法,可使 整個泵浦本體保持恒定溫度,從而消 除冷點,並為冷卻水夾套提供穩定的 溫度。 特有的“flying bearing” 螺旋轉子 螺桿設計解決了進氣口軸承的問題, 佔用空間更小。

製圖
COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
排氣量

空氣溫度 20°C 容許值 ±10%

50 Hz
60 Hz
排氣量
技術資料 COBRA BC 0100 F Premium Efficiency COBRA BC 0200 F Premium Efficiency
額定抽速 115 m³/h 175 m³/h
極限壓力 0.005 hPa (mbar) 0.005 hPa (mbar)
馬達額定功率 1.8 kW 2.9 kW
極限壓力/怠速模式下的功率消耗 0.55 kW 0.7 kW
馬達額定轉速 3600 min-1 4570 min-1
噪音(ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
用水量 1.0 l/min 2.0 l/min
乾壓縮空氣消耗 25 l/min* 25* l/min
重量(約) 120 kg 130 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x392 mm
進氣口/排氣口 DN 50 KF DN 50 KF
* Stickstoff kann als Alternative verwendet werden

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