適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦
性能卓越
先進的螺旋式設計，卓越的運行品質，集成真空助力器，非常適用于高容量 load lock 和鍍膜製程
高效
擁有成本低，維護少，保養間隔長，可長效運行，高效水冷卻，高溶劑輸送量
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達，底泵浦和真空助力器組合安裝於底座上，模組化設計
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高效
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