PUMA WY 3600 A
Vakuumbooster
läckagetät kapacitetsoptimering för fin- och högvakuumtillämpningar
Pålitlig
Speciell lamelldesign för att motverka avlagringar av pulver och partiklar, robust hus tillverkat av GGG40-material, läckagetät
Hög kapacitet
Speciellt utformat för krävande tillämpningar med medel- och högvakuumintervallet, inklusive halvledartillämpningar med pulver och damm, utmärkt volymetrisk effektivitet
Flexibel
Pålitlig prestanda under varierande driftsvillkor, ökar prestandan hos alla typer av förpumpar
Tekniska specifikationer
Marknader och tillämpningar
Produktion av platta bildskärmar
-
Plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)
Produktion av halvledare
-
Hård
Solkraftsindustri
-
Plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)