optimizatoare de performanță etanșe la scurgeri pentru aplicații cu vid mediu și înaintat
Fiabil
Design special al lobilor pentru a preveni depunerile de pulberi și particule, construcție robustă, realizată din material GGG40. etanșă la scurgeri
Performanță ridicată
Special concepute pentru aplicații dificile în intervalul de vid mediu și înaintat, inclusiv pentru procese pentru semiconductori cu pulberi și praf, eficiență volumetrică excelentă
Flexibil
Performanță fiabilă în condiții de funcționare variate, amplifică performanța tuturor tipurilor de pompe suport
Specificații tehnice
Piețe și aplicații
Producția de afișaje cu ecran plat
-
Depunere fizică din vapori cu stimulare cu plasmă (PECVD)
Producția de semiconductori
-
Aplicații solicitante
Industria energiei solare
-
Depunere fizică din vapori cu stimulare cu plasmă (PECVD)