Sistemas de eliminación de gas

GABA AWE son nuestros innovadores scrubbers húmedos, desarrollados especialmente para procesos EPI críticos en la industria de los semiconductores. Combinan una máxima fiabilidad de servicio con el nivel más alto de estabilidad de proceso.

Nuestra serie AWE está equipada con una entrada de gases tóxicos patentada que evita que la entrada del scrubber se obstruya. Esto permite alargar la vida útil y, al mismo tiempo, reducir los costes de funcionamiento. El mantenimiento se reduce a cambiar el dispositivo de prevención de obstrucciones de la entrada a intervalos de servicio regulares. Esto se puede realizar fácilmente sin tener que desmontar la unidad.

El diseño especial del GABA AWE hace que la separación de subproductos del proceso de producción en una trampa se haya quedado obsoleta. El scrubber húmero puede gestionar todos los residuos del proceso sin obstruir la entrada de gases. Los subproductos solubles en agua reaccionan en el líquido de lavado, los sólidos se separan en forma de partículas o se vacían junto con el agua residual durante el funcionamiento.

El vacío del proceso de producción se suministra y se controla activamente a través de una unidad venturi con control de velocidad. Esto garantiza una presión constante en el proceso y un funcionamiento sin problemas. Todos los ajustes del proceso se pueden realizar a través de un controlador lógico programable (PLC) con pantalla táctil en color.

Los sistemas de eliminación de gases GABA AFC están diseñados para reducir o eliminar los gases peligrosos y los contaminantes del aire durante los procesos de fabricación. Básicamente, cambian la composición química de los gases. Una combinación de tecnología de oxidación térmica catalítica sin llama y de eliminación de gases térmico-húmeda permite tratar tanto los gases combustibles como los solubles.

Los GABA AFC utilizan un calefactor de alta temperatura con catalizadores calefactados. Esto permite una combustión perfecta sin llama. Para aumentar la eficiencia de la eliminación de los gases requeridos, una temperatura adecuada y unos fluidos de trabajo correctos son de vital importancia. El sistema térmico ofrece unas condiciones de tratamiento estables produciendo un número considerablemente menor de subproductos (p. ej. NO_x, CO₂, etc.). A continuación, los gases solubles en agua, los subproductos y los gases calientes de la cámara del reactor se procesan en la cámara húmeda.

Para evitar la contaminación durante el mantenimiento, los GABA AFC han sido diseñados como sistemas totalmente intercambiables. Todos los módulos se pueden sustituir individualmente sin abrir la cámara.

Los sistemas de eliminación de gases de la serie AFC se suministran de fábrica con cuatro entradas de proceso. De este modo, el sistema se puede conectar a cuatro cámaras diferentes en una o varias herramientas de proceso, dependiendo de la aplicación.

Los sistemas de eliminación de gases neutralizan los gases peligrosos y los contaminantes del aire durante los procesos de fabricación. Este proceso es necesario para liberarlos a la atmósfera de forma segura. Cada gas requiere una tecnología de tratamiento distinta, como la térmica, la húmeda o una combinación de ambas tecnologías.

La eliminación de gas es el proceso mediante el cual se cambian las composiciones químicas de gases peligrosos y contaminantes del aire. Esto es necesario para que se liberen a la atmósfera sin dañar a animales o seres humanos.

Sistema catalítico sin llama
Este sistema catalítico combina la oxidación térmica catalítica sin llama y la tecnología de tratamiento húmedo para destruir gases inflamables, solubles en agua y NF₃. El polvo y los gases solubles en agua que pueden generarse durante la oxidación térmica serán capturados en una zona de humidificación multietapa previa.

Húmedo-térmico
La tecnología de tratamiento eléctrico de calor y humedad se combina en un sistema para eliminar los gases con hidruros, como el NH₃, el SiH₄, así como el NF₃. En la cámara de combustión se cambia la composición química de los gases de proceso inflamables y pirofóricos mediante oxidación térmica. Los gases solubles en agua se disuelven en la cámara húmeda previa.

Scrubber húmedo
En cuatro cámaras de reacción individuales se pulveriza con agua el flujo de gas de escape, especialmente el procedente de los procesos de epitaxia. Los subproductos sólidos se capturan en gotas de agua y se disuelven. A continuación, se separa el agua del flujo de gas de salida mediante un sistema de absorción.