Produksjon av halvledere med vakuum

Busch vakuumpumper benyttes av ledende produsenter av halvledere og er kjent for sin pålitelighet. Resultatet av å lytte til behovene hos våre halvlederpartnere og deres prosesskrav gjennom mange år.

La oss hjelpe deg med å finne den perfekte løsningen for dine prosesskrav.

Halvlederservice

ARPQP
Den nye overhalingsservicen for vakuumpumper fra Busch. Spesielt for halvleder- og flatskjermmarkedet.
Les mer
Full sub-fab-behandling
Komplett serviceløsning på stedet for et trygt og stabilt produksjonsmiljø på din halvlederfabrikk.
Les mer
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

VÅRE LØSNINGER FOR PRODUKSJON AV HALVLEDERE

Vakuumløsninger fra Busch er det perfekte valget for produksjon av halvledere. Til dette bruksområdet er høy pålitelighet, lave eierkostnader og intelligent kommunikasjon mellom halvlederverktøy et absolutt krav. Fra innlastingssluser til de mest krevende partikkelgenererende prosessene. Vi har levert vakuumsystemer til ledende produsenter av halvledere over hele verden. Og med sømløs brukerstøtte på stedet etter installasjon.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Lett (innlastingssluse- og overføringskamre, metrologi, litografi)	✓	✓	✓	✓
Middels (PVD-prosesser, PVD-forrengjøring, RTA, stripping/slagg, oksidetsing, silikonetsing)	✓		✓	✓
Krevende (metalletsing, implanteringskilde, HDP, CVD, RTP, epitaksi, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓