Oppdater nettleseren din.

Det ser ut som du bruker en gammel versjon av nettleseren Microsoft Edge. For å få den beste opplevelsen med Busch sin nettside, vennligst oppdater nettleseren din.

Produksjon av halvledere med vakuum

semicon_stage_foto

Busch vakuumpumper benyttes av ledende produsenter av halvledere og er kjent for sin pålitelighet. Resultatet av å lytte til behovene hos våre halvlederpartnere og deres prosesskrav gjennom mange år.

La oss hjelpe deg med å finne den perfekte løsningen for dine prosesskrav.

Finn din løsning for halvlederservice med Busch Group

Busch Group, en global leder innen vakuumteknologi, forener to ekspertmerker: Busch Vacuum Solutions og Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Sammen tilbyr de en omfattende portefølje av vakuumløsninger og service skreddersydd for halvlederindustrien.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions tilbyr spesialisert ekspertise innen høyt og ultrahøyt vakuum og lekkasjesøk, spesielt for bruksområder med halvledere. Med sin langvarige posisjon i halvlederindustrien vil Pfeiffer levere best mulig service. Enten det gjelder overhaling av vakuumpumper eller full sub-fab-styring, sikrer Pfeiffer at prosessene for halvledere er i trygge hender.

Halvlederservice

  • con23_293_newimagelandingpagesemiconsemciconlocation

    Servicesentre for halvledere

    Finn ditt servicesenter for halvledere.

    Les mer

Våre Løsninger for Produksjon Av Halvledere

Vakuumløsninger fra Busch er det perfekte valget for produksjon av halvledere. Til dette bruksområdet er høy pålitelighet, lave eierkostnader og intelligent kommunikasjon mellom halvlederverktøy et absolutt krav. Fra innlastingssluser til de mest krevende partikkelgenererende prosessene. Vi har levert vakuumsystemer til ledende produsenter av halvledere over hele verden. Og med sømløs brukerstøtte på stedet etter installasjon.
VACTEST
Lett (innlastingssluse- og overføringskamre, metrologi, litografi)
Middels (PVD-prosesser, PVD-forrengjøring, RTA, stripping/slagg, oksidetsing, silikonetsing)
Krevende (metalletsing, implanteringskilde, HDP, CVD, RTP, epitaksi, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)