COBRA DS 8162/8163 B/F
Droge schroefvacuümpompen
De nieuwe generatie droge vacuümpompen voor veeleisende processen
Uitstekende prestaties
Advanced screw design, excellent running qualities, integrated vacuum booster, perfectly suited for high-capacity load lock and coating processes
Efficiënt
Low cost of ownership, minimal maintenance, long service intervals, high uptime, efficient water cooling, high solvent throughput
Compact
Fit-in-place design, directly mounted canned motor, backing pump and vacuum booster combined on a compact base frame, modular design
Technische specificaties
Markten & toepassingen
Handling van biogas
-
Upgraden - adsorptie van drukverschillen
Productie van flatscreens
-
Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)
-
Load-lock-kamers
-
Organische lichtgevende diode (oled)
-
Fysieke dampafzetting (PVD)
Productie van lithiumionbatterijen
-
Ontgassen
Productie van halfgeleiders
-
Middelzwaar
-
Licht